高溫超納米壓痕測試儀 (UNHT3 HTV)
一臺真正意義的商品化的高溫高真空超納米壓痕儀,主要測量小載荷下納米尺度機械性能的測試系統,溫度在 800 °C 以下的薄膜和涂層的硬度和彈性模量。 UNHT3 技術與的加熱功能結合,可提供在任何溫度下的高穩定性測量解決方案。
主要特點 新一代的高溫納米壓痕測試儀
環境條件下熱漂移 (< 0.5 nm/min) 和整個溫度范圍內熱漂移 (< 3 nm/min)。
載荷框架剛度 (>>106 N/m) 和框架柔度 (<<0.1 nm/mN):兩套獨立的位移和載荷傳感器與高精度電容傳感器結合,可選擇“控制位移”和“載荷控制”模式。
高真空系統具有 5 軸磁懸浮渦輪泵和緩沖系統,允許在測量期間關閉初級泵,使振動降至。
的加熱控制系統(3 項待批),采用3 個紅外 (IR) 加熱器分別用于給壓痕針尖、參比針尖和樣品進行加熱,以及 4 個熱電偶用于將樣品表面溫度控制到 變化在0.1°C 內。
符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 國際標準
技術指標
載荷 | |
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載荷 | 100 mN |
載荷分辨率 | 6 nN |
本底噪音 | 0.5 [rms] [μN]* |
位移 | |
位移 | 100 μm |
位移分辨率 | 0.006 nm |
本底噪音 | 0.15 [rms] [nm]* |
極限真空度 | 10? mBar |
溫度 | 800 °C |