與MODEL6600相比，新開(kāi)發(fā)的本儀器在低壓側(cè)精度更高，重現(xiàn)性更好，能夠快速準(zhǔn)確地進(jìn)行壓力調(diào)節(jié)。
本產(chǎn)品用于高靈敏度的分析儀器、研究開(kāi)發(fā)或半導(dǎo)體制造設(shè)備。
- 具有低壓側(cè)高精度控制的特性
將壓力設(shè)為0.01?0.15MPa，在此條件下對(duì)于一次側(cè)壓力變化、二次側(cè)負(fù)荷電阻變化，具有重現(xiàn)性在±1％以內(nèi)的高控制性能。 - 不使用潤(rùn)滑油
接觸氣體部分由不銹鋼、氟橡膠、氟樹(shù)脂制成，不使用任何潤(rùn)滑油，需要保持純凈狀態(tài)的半導(dǎo)體領(lǐng)域等。 - 防松螺母結(jié)構(gòu)
通過(guò)防松螺母固定設(shè)定過(guò)一次的壓力調(diào)節(jié)位置，可防止設(shè)定發(fā)生變化。 - 不滲液型
本產(chǎn)品屬于不滲液型，不會(huì)發(fā)生氣體外泄，請(qǐng)您放心使用。
用途
- 用于氣相色譜儀
- 用于高純度氣體控制
- 用于低壓控制設(shè)備
- 用于半導(dǎo)體領(lǐng)域等
尺寸圖
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
| 流體 | 各種氣體 |
|---|---|
| 一次側(cè)壓力 | 0.4MPa |
| 二次側(cè)控制壓力 | 0.01?0.15MPa |
| 流量 | 5L/MIN |
| 最小工作壓差 | 0.1MPa以上 |
| 耐壓力 | 0.8MPa |
| 重現(xiàn)性 | 在額定壓力的±1％范圍內(nèi) |
| 環(huán)境溫度 | 5?60℃ |
| 接口 | Rc1/8 |
| 流體接觸部分材質(zhì) | SUS316、氟橡膠、硬質(zhì)玻璃 氟樹(shù)脂、SUS304、SUS303 |
流量特性
特殊規(guī)格
- 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格以外的接頭。
訂購(gòu)方法
- 接口接頭時(shí)，僅IN OUT接頭。
儀表端口為止水栓。 - 壓力表口等價(jià)于OUT口。
可任意將某處設(shè)為表口或OUT口。
