本公司將具有出色的可重現性、耐用性的波紋管型膨脹閥用作分析儀器，獨自研發出了這種精密壓力調節閥。
本調節閥屬于不滲液型，呈無油結構，所用氣體不與大氣接觸，沒有污垢，因此在標準氣體、半導體領域等高純度氣體的壓力控制方面是的。
- 無油結構
接觸氣體部分不使用任何潤滑油，需要保持純凈狀態的標準氣體分析器與半導體領域等。 - 高精度
一次側壓力變化的重現性、二次側負荷電阻變化的重現性在±1％以內，精度高。 - 高穩定性
均由金屬零部件（如金屬波紋管）構成，因此具有出色的耐用性，即使長期連續使用也可保持一定壓力。 - 可實現低壓差操作
可以通過20kPa的壓差來控制一次側供給壓力和二次側設定壓力之間的壓差。 - 不滲液型
本產品屬于不滲液型型，不會發生氣體外泄，請您放心使用。
用途
- 用于氣體混合裝置
- 用于高純度氣體控制
- 用于低壓控制
尺寸圖
標準規格
| 二次側壓力 設定范圍 | 5330A 9.8?294kPa 5330B 9.8?588kPa |
|---|---|
| 一次側壓力 | 784kPa |
| 耐壓力 | 784kPa |
| 重現性 | 在額定壓力的±1％范圍內 |
| 耐沖擊性 | 在額定壓力的±1％范圍內 |
| 溫度特性 | 0.8MPa |
| 重現性 | 在額定壓力的1％/10℃范圍內 |
| 環境溫度 | 5?60℃ |
| 接口 | Rc 1/4（標準）Rc1/8 |
| 流體接觸部分材質 | （S）SUS304、氟橡膠、氟樹脂 |
特殊規格
- 標準規格以外的接頭。
