技術參數:
1.分辨率:1.2nm(30kV)/3.0nm(1kV)
2.加速電壓:0.2KV-30kV
3.放大倍數:10-100萬倍
4.大束流高分辨5nA,WD10mm,15kV時分辨率3.0nm
5.束流強度:1pA到200nA(15KV)
主要特點:
1.浸沒式熱場發射電子槍,束流強度200nA(15KV)
2.無漏磁物鏡設計,便于磁性樣品觀測和EBSP觀測不變形
3.自動光闌角控制器,無需調整光闌
4.全自動控制聚焦、合軸、消像散、控制掃描速度
5.適于配合多種分析性探頭