日本ulvac熱陰極電離真空計(jì)AxTRAN
AxTRAN 是一種熱陰極電離真空計(jì)，在離子源和離子收集器之間帶有 Bessel-Box 型能量過(guò)濾器。通過(guò)減少軟X射線、ESD離子等引起的剩余電流，實(shí)現(xiàn)了0.5×10 -10 Pa的測(cè)量分辨率。
特征
能夠測(cè)量10 -11 Pa量級(jí)的壓力
可降低軟 X 射線、ESD 離子等的殘余電流。
1×10 -2至 0.5×10 -10 Pa 的寬壓力范圍
0 至 10V 的壓力偽對(duì)數(shù)輸出/每個(gè)數(shù)字的 1V 線性輸出作為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
可輸出 2 個(gè)設(shè)定值
BCD/RS232C 可能（可選）
符合 CE 標(biāo)準(zhǔn)
用途
用于高能加速器等真空設(shè)備的壓力測(cè)量
用于超高、超高真空設(shè)備的壓力測(cè)量
日本ulvac熱陰極電離真空計(jì)AxTRAN
規(guī)格
| 模型 | ISX2 |
| 測(cè)量壓力范圍 | 5×10 -11～1×10 -2帕 |
| 測(cè)定分解能 | 0.5×10 -10帕 |
| 表示 | 數(shù)顯 尾數(shù) 3 位 指數(shù) 2 位 |
| 脫氣 | 電子沖擊解吸法 |
| 測(cè)量值輸出 | 每位線性輸出尾數(shù)：0 至 10 VDC |
| 偽對(duì)數(shù)輸出：DC0～10V，每一位線性輸出1V | |
| 設(shè)定點(diǎn) | 2點(diǎn) |
| 工作溫度限制 | 10～40℃ |
| 工作濕度范圍 | 15 至 80%（無(wú)冷凝） |
| 電源電壓 | AC85～240V |
| 尺寸 W×D×H | 240mm×350mm×99mm |
| 質(zhì)量 | 5.3 公斤 |
| 配件 | AC100V（3P插頭接地）電源線，使用說(shuō)明書(shū) |
| 選項(xiàng) | 探頭：X-11 |
| 傳感器電纜：5、10、20m | |
| BCD輸出，RS232C/RS485 |
| 探頭類型 | X-11 |
| 能量過(guò)濾器 | Bessel-Box型 |
| 燈絲 | Ir?Y2O3 / 2 |
| 安裝法蘭 | UFC-070 |
| 烘烤溫度 | 300°C（移除電纜） |
