電子行業超純水運行工藝針對不同的水質特點會采用不同的工藝。
??1：采用離子交換樹脂制備電子工業超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點
2：采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業超純水的方式，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點
??3：采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配制備電子工業超純水的的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點
再活化原理：當設備運行一段時間時，樹脂失效，此時需要再生，以恢復交換容量。注意：1、操作人員應具備純水設備的基本知識，掌握操作規程。2、本設備嚴禁壓負荷。3、電動機應定期檢查。4、閑置時間長，應定期攪拌，以免樹脂發霉。
