編號

取樣點

用途

組分及量程

選用探頭

選用儀表

1

凈化原料空氣中CO2分析

工藝控制

安全監測

CO2:0-10PPm

GE-SP-004

進口品牌

2

凈化原料空氣中H20分析

H2O:0-100PPm

DPME-G

3

上塔污氮中O2分析

O2:0-5%

OXME-G

（磁氧）

4

下塔液空02分析

O2:0-50%

5

產品02純度分析

O2:95-99%

6

產品氮（氬）中02分析

O2:0-10PPm

7

液氧/液空中總烴分析

THC:0-100PPm

進口品牌

8

液氧/液空中碳氫化合物分析

C2-C4/THC0-1ppm/C2H2

進口品牌

9

液氧中N2O分析

N2O:0-100PPm

進口品牌

10

液氧中O2分析

O2:0-100PPm

OXME-G

11

氬餾分中Ar含量分析

Ar:0-20%

HYME-G

12

粗氬中02含量分析

O2:0-25%

OXME-G

13

粗氬中Ar含量分析

Ar:80-99%

HYME-G

14

產品氬中N2分析

N2:0-100PPm