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廣電計量檢測集團股份有限公司

顯微分光膜厚儀

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱北京卓立漢光儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號OPTM 系列
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/10/11 14:29:17
  • 訪問次數225
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北京卓立漢光儀器有限公司成立于1999年,是國內精密光學儀器和精密機械運動與控制技術產品的供應商之一,致力于為廣大光電行業從業者提供針對性的產品及解決方案。 目前公司的位移臺、光學調整架等產品已經形成產品系列化,規格多元化,已廣泛應用于國內高等院校和激光加工設備廠商等生產型企業用戶單位中。自2000年通用型三光柵光譜儀量產后,公司持續推出多個系列的熒光、拉曼、太陽能電池檢測等光譜測量系統,同樣在上述用戶群體中收到歡迎。成立20年來,卓立漢光始終堅持研發創新、快速反應和優質服務的經營理念,取得了穩步發展。目前其在國內擁有300多名員工,在上海、深圳、成都、西安設立分公司,在法國、波蘭、韓國等國家擁有合作關系良好的代理商,構建了覆蓋主要市場的行銷網絡。
OPTM 系列顯微分光膜厚儀使用顯微光譜法在微小區域內通過反射率進行測量,可進行高精度膜厚度/光學常數分析。可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學材料和多層膜。 測量時間上,能達到1秒/點的高速測量,并且搭載了即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學常數的軟件。
顯微分光膜厚儀 產品信息
產品概述

OPTM 系列顯微分光膜厚儀
頭部集成了薄膜厚度測量所需功能
通過顯微光譜法測量高精度反射率(多層膜厚度,光學常數)
1點1秒高速測量
顯微分光下廣范圍的光學系統(紫外至近紅外)
區域傳感器的安全機制
易于分析向導,初學者也能夠進行光學常數分析
獨立測量頭對應各種inline客制化需求
支持各種自定義
 
OPTM 系列顯微分光膜厚儀選型表
 
OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
波長范圍 230 ~ 800 nm 360 ~ 1100 nm 900 ~ 1600 nm
膜厚范圍 1nm ~ 35μm 7nm ~ 49μm 16nm ~ 92μm
測定時間 1秒 / 1點
光斑大小 10μm (*小約5μm)
感光元件 CCD InGaAs
光源規格 氘燈+鹵素燈   鹵素燈
電源規格 AC100V±10V 750VA(自動樣品臺規格)
尺寸 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動樣品臺規格之主體部分)
重量 約 55kg(自動樣品臺規格之主體部分)
 

測量項目:

反射率測量
多層膜解析
光學常數分析(n:折射率,k:消光系數)

 

測量示例:SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測量

半導體晶體管通過控制電流的導通狀態來發送信號,但是為了防止電流泄漏和另一個晶體管的電流流過任意路徑,有必要隔離晶體管,埋入絕緣膜。 SiO 2(二氧化硅)或SiN(氮化硅)可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜,而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數的絕緣膜,或是作為通過CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。 為了絕緣膜的性能和精確的工藝控制,有必要測量這些膜厚度。

 
關鍵詞:傳感器
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