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| 主要參數 | 輸入電源：220V 通用 功率：<>
工作電流： 濺射電流：0-50 mA可調
單次工作時間：0-5分鐘可調
靶頭數目：3個
輸出電壓：1600V DC
樣品臺加熱溫度：500℃（選配，詳細請聯系售后） | |||||||||||||||
| 濺射腔體 | 采用石英腔體，尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H
密封：O形密封圈密封 | |||||||||||||||
| 樣品臺 | 一個外徑50 mm 的樣品臺,用于盛放基片，可以電動控制移動三個位置
濺射距離：濺射距離可調 可選購加熱型樣品臺（溫度可到500℃）
PID控制器控溫精度+/- 1℃（已集成到觸摸屏上） | |||||||||||||||
| 控制面板 | 控制面板為PLC，4.3" 觸摸屏
一個控制面板可以控制所有的參數,包括真空度,電流,靶材位置和基片加熱溫度 | |||||||||||||||
| 真空泵（選配） | 用機械泵真空度達 50 mtorr（僅供參考，詳情請點擊）
用分子泵真空度可達 10-4 torr（僅供參考，詳情請點擊） | |||||||||||||||
| 進氣口 | 一個精密可調針閥安裝在進氣口，以實現方便的調節進氣量 | |||||||||||||||
| 靶材 | 要求安裝靶材的尺寸：直徑Φ47mm,厚度0.5-3mm
可在本公司選購靶材,具體請點擊鏈接 | |||||||||||||||
| 外形尺寸 | 460mm×330mm×540mm (L×W×H)
凈重:50KG（不包括泵） | |||||||||||||||
| 質保期 | 一年保修，終身技術支持。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 | |||||||||||||||
| 質量認證 | | |||||||||||||||
| 各種靶材的參數（僅供參考） | 對于濺射各種金屬靶材，需要摸索的濺射參數，下表是本公司實驗所設置的參數（僅供參考，詳情請點擊）
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| 使用注意事項 | 由于能量低，該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al，Mg，Zn，Ni。請考慮我們的磁控濺射鍍膜機或熱蒸發鍍膜機。點擊下面圖片查看細節
有時為了達到理想的薄膜厚度，可能需要多次濺射鍍膜
為了得到較好的薄膜質量，必須通入高純氣體（建議> 5N）
在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺的潔凈
要達到薄膜與基底良好結合，請在濺射前清潔基材表面
超聲波清洗（詳細參數點擊下面圖片):(1)丙酮超聲（2）異丙醇超聲-去除油脂（3）吹氮氣干燥（4）真空烘箱除去水分。
等離子清洗（詳細參數點擊下面圖片):可表面粗糙化，可激活表面化學鍵，可祛除額外的污染物
制造一個薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應用于改善金屬和合金的附著力
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| 警告 | 注意：產品內部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動機體
氣瓶上應安裝減壓閥（設備標配不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕
濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關閉設備前裝樣和更換靶 |
北京壯仕科技有限公司是一家代理、經銷國內外分析儀器、環保儀器、生命科學儀器、電化學儀器設備及耗材、實驗室常規設備、生化試劑耗材以及玻璃儀器的專業公司。本著“以質量為依托，靠服務求生存”的宗旨，進行科學管理，不僅為客戶提供高品質的分析儀器，更致力于為所有客戶提供完整的解決方案。從度身定制產品，專業技術支持，到完善的售后服務，令所有的客戶稱心滿意。
公司人員均是北京各大高校的畢業生，立足于高校，利用自身日常使用儀器的一些知識為更多用戶提供優質的服務。
公司在電化學領域，依托與北京理工大學環境能源中心，不斷加強與清華大學、北京科技大學、北京化工大學、北京大學、物理所、哈爾濱工業大學、鼎能開源、有色金屬研究總院、機電研究院等高校及研究所的合作。
通過與電化學領域的廠家，包括上海辰華(CHI系列電化學產品)、科晶集團(MTI鋰離子電池實驗室加工設備、管式爐、箱式爐、磨拋設備)、武漢藍電(LAND電池測試設備)、PINE旋轉圓盤電極、Arbin電化學測試系統等的合作，不斷為廣大電化學研究者提供面、穎的研究設備和質的服務。
小型三靶等離子濺射儀VTC--16-3HD 產品信息
