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廣電計量檢測集團股份有限公司

等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱柜谷科技發展(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/10/9 12:58:28
  • 訪問次數187
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柜谷科技發展(上海)有限公司專注于為科研工作者和質量控制人員提供一站式實驗室產品與配套服務,致力于成為科學服務領域的者與變革者。公司通過自主研發、品牌運營、品牌代理、實驗室設計規劃方案等方式為生物醫藥、新材料、新能源、化工化學、精細化工、食品日化、分析檢測等領域的實驗室提供的綜合服務,覆蓋客戶的研發準備、研發過程、研發后期、生產質控等各個階段,提供“一站式”有競爭力的產品和服務,是國內的科學服務提供商。
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等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS
等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS 產品信息
13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機,搭載RIE·DP雙模式
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式 高性能型號,調取數據簡單,以電子材料為中心,可對應 多種用途。
特征
●  可變更電極構造提高等離子效果。
●  搭載高精度適配器,高性能RF 電源。
●  可根據需求規格提供定制。

用途
●  硅晶圓的灰化及蝕刻
●  基板表面污垢處理
●  IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
●  半導體相關部品的電子材料的干式清洗
●  自然氧化膜·有機物去除
●  界面活性處理
●  表面污染物去除

內槽


規格


型號 V1000 V1000X V1000XS
等離子模式 DP/RIE
高頻電源 13.56MHz
輸出功率 Max1000W Max1000 & 1500W
有效電極尺寸 W280×D280mm W300×D300mm W400×D375mm
電極 平行平板 2段電極(獨立) 平板(多目的)
反應氣體 聚合控制器2系統(填充氣路另行安裝)
真空泵(標配) 約1000L/min 約1500L/min 1000 & 1500L/min
安全裝置 門檢測開關、聯鎖機構、緊急停止開關、溫度過升防止器等

管路連接圖

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