FT-NMT04納米力學性能測試系統(原位納米壓痕儀）
FemtoTools是一家瑞士高科技公司，研發團隊依托于瑞士聯邦理工學院-機器人與智能系統研究所（ETH-IRIS）Bradley Nelson 教授課題組，為微納米尺度的機械測試和機器人處理研發超高精度儀器，充分滿足半導體技術、微系統開發、材料科學、微型醫學和生物技術等領域的挑戰性要求。
FT-NMT04是瑞士FemtoTools公司研發的一款原位納米壓痕儀。
FT-NMT04納米力學性能測試系統是一種多功能原位SEM/FIB納米壓痕儀，能夠精確量化微米和納米級材料的力學行為。作為一個基于MEMS的納米壓痕儀，FT-NMT04基于獲得的Femto Tools微電子機械系統（MEMS）技術。利用二十多年的技術創新，這種原位納米壓痕具有的分辨率，可重復性和動態響應。
FT-NMT04原位納米壓痕儀針對金屬，陶瓷，薄膜以及超材料和MEMS等微結構的機械測試進行了優化。此外，通過使用各種附件，FT-NMT04的功能可以擴展到各個研究領域的多樣化要求。典型應用包括通過微柱的壓縮測試或狗骨樣本，薄膜或納米線的拉伸測試來量化塑性變形機制。此外，彎曲期間的連續剛度測量使得能夠在微梁的斷裂測試期間量化裂縫生長和斷裂韌性。由于的低噪聲基底分別為500pN和50pm，FT-NMT04可實現淺納米壓痕，具有的可重復性。
FT-NMT04納米力學性能測試系統可以集成到大多數SEM / FIB系統中
FT-NMT04原位納米壓痕儀功能:
| 納米壓痕，壓縮測試，拉伸測試，斷裂測試，疲勞測試 |
| 使用SEM，EBSD或STEM進行定量機械測試和同步成像 |
| 獲得的基于MEMS的傳感技術可實現0.5 nN至200 mN的分辨率和重復力，以及0.05 nm至21 mm的位移 |
| 能夠進行連續剛度測量（CSM）或高達500 Hz的疲勞測量，無需復雜的動態校準 |
| 真正的位移控制測試，可實現快速應力下降的量化（也可以選擇基于力反饋的力控制測量） |
| 3軸,4軸或5軸（x,y,z,旋轉,傾斜）,閉環傳感器,使用所有軸上的位置編碼器進行樣品對齊 |
| 高溫測試可達400℃ |
| 能夠將樣品有序地定向到納米壓頭，電子束和EBSD檢測器，以評估特定顆粒和位置的硬度（僅適用于5軸配置） |
| 簡單確定壓頭區域功能和框架順應性 |
| 強大的數據分析工具，用于評估測量結果并應用擬合或函數來計算材料屬性 |
| SEM樣品臺安裝可以快速安裝和移除SEM室內的系統 |
| 緊湊的模塊化設計使其幾乎可以集成到任何SEM中 |
| 可定制的測量程序和原則 |
FT-NMT04原位納米壓痕儀應用概述:
微柱壓縮 確定滑移系統的臨界分辨剪切應力（CRSS） 表征單軸應力下的變形機制 韌性損傷和應變局部化的量化 微懸臂斷裂試驗 用連續J積分法測定亞微米斷裂韌性 表征單調和循環斷裂行為 量化各個裂紋的萌生和傳播 納米壓痕 以低容量確定硬度和楊氏模量 量化接觸力學和動態響應 多軸應力下變形機制的表征 微拉伸試驗 確定屈服應力，極限拉伸應力和斷裂伸長率 在單調和循環加載下表征斷裂模式 定量應變局部化效應和裂紋萌生和傳播事件 用STEM / EBSD進行相關的機械測試 應變定位的定量研究 相變的定量研究 紋理演變的定量研究 位錯動力學的定量研究 晶界遷移的定量研究
FT-NMT04系統構造和配置:
 | 主要特征 力感應范圍：+/-200mN 強制本底噪聲（10Hz）：500pN 位移范圍：25μm 位移噪聲層（10Hz）：50pm 連續剛度測量和高達500Hz的疲勞測試 3軸傳感器與樣品對齊 尺寸：120 x 44 x 72 mm 微柱壓縮 •微懸臂斷裂試驗 疲勞測試 納米壓痕 微拉伸測試 |
