海思創(chuàng)TI 950 TriboIndenter納米壓痕儀是布魯克一臺用于多種納米力學(xué)和納米摩擦學(xué)表征的自動化、高通量測試設(shè)備。海思創(chuàng)TI 950納米壓痕儀集成了強(qiáng)大的Preformech® I控制模塊,顯著提高了納米力學(xué)測試反饋控制的準(zhǔn)確度,提供了的低噪音水平。結(jié)合布魯克的大量納米力學(xué)測試技術(shù)和正在研發(fā)的測試方法,TI 950 TriboIndenter 是一臺多功能和極其高效的納米力學(xué)測試系統(tǒng),適用于廣泛的應(yīng)用。
優(yōu)異的控制反饋和靈敏度
布魯克的反饋控制算法和測量靈敏度為所有海思創(chuàng)納米力學(xué)測試技術(shù)提供了精確的控制。海思創(chuàng)TI 950上所有的反饋控制功能都基于集成了數(shù)據(jù)信號處理器(DSP)和現(xiàn)場可編程門陣列(FPGA)的專業(yè)控制系統(tǒng),用于精確實(shí)現(xiàn)用戶的測試需求。
電容傳感器技術(shù)
專業(yè)的電容傳感器技術(shù)提供了納米壓痕過程中的測量靈敏度(<30nn,>30nn,><>
集成原位掃描探針成像的高分辨光學(xué)系統(tǒng)
海思創(chuàng)TI 950集成了帶彩色CCD相機(jī)的光學(xué)系統(tǒng),用于高放大倍數(shù)下的樣品表面觀察和測試位置選擇。原位掃描探針成像系統(tǒng)能提供更精確的測試位置選擇(±10nm)。TI 950的這種雙模式成像設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了許多應(yīng)用對精確控制測試位置的需求。