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廣電計量檢測集團股份有限公司

水洗式Scrubber尾氣處理裝置

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱深圳沃飛科技有限公司
  • 品       牌
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  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/10/1 12:07:19
  • 訪問次數529
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深圳沃飛科技有限公司成立于2011年,公司注冊資金2180萬,是一家專業從事氣體應用系統 工程:電子特氣系統、實驗室氣路系統、工業集中供氣系統、大宗氣體(液體)系統、高純氣 體及特殊工藝氣體二次配管系統、化學品輸送系統、純水系統,提供從技術咨詢、整體規劃、 系統設計、選定設備、預制組件、項目現場安裝建設、整體系統檢測等全套工程技術服務和配 套產品于—體的;榮獲“國家”認定并取得證書。工程項目覆蓋半導體、集成電路、光電、新能源、微電子、生物醫藥、科研所、標準檢測等高 科技行業;為客戶提供高純介質輸送系統全套解決方案與全國各大院校科研所合作研發的多個 國家重點實驗室項目,并取得了可喜的成績。同時公司具有國家建筑機電安裝工程專業承包資質、GC2管道設計安裝資質,旗下有奧飛克 AFKR、Afklok&、沃飛⑧等行業品牌;公司自主研發生產的GC特氣柜、GR特氣架、 VMB閥門箱、VMP閥門盤、氣體混配器、氣體全/半自動切換裝置、氣體減壓器、管件接頭、 閥門儀表等產品于中國大陸和26個地區和國家,并獲得了多項國家發明,為了追 求更好品質并給客戶提供更高更安全的技術,嚴格按照ISO9001標準執行各項管理。經過多年的快速發展,公司現有各類專業技術人員60余人,其中:設計、研發、工程人員20 余人;管道工、電工、焊工、通風工、設備安裝工等20余人。廠房面積2500m2,其中辦公 區域面積500m2,生產車間面積2000m2;旗下子公司有西安辦事處(負責華西業務),武漢 子公司(負責華中業務)以及香港子公司(負責海外進出口貿易)。
Scrubber尾氣處理裝置可處理氣體種類包括半導體、液晶以及太陽能等行業中蝕刻制程與化學氣相沉積制程中使用的特氣,主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。
水洗式Scrubber尾氣處理裝置 產品信息

Scrubber尾氣處理裝置

半導體工藝中常使用的化學物質及其副產物,一般依照其化學特性與其不同的影響范圍,可分為:
1 易燃性氣體如SiH4 H2等
2 毒性氣體如AsH3,PH3等
3 腐蝕性氣體如HF,HCl 等
4 溫室效應氣體如CF4,NF3等
由于以上四種氣體對環境或人體皆具有一定的危害性,必須防止其直接排放大氣中,所以,一般半導體廠都以加裝大型廢氣處理系統.但此系統僅以水洗滌廢氣.故其應用范圍于處理水溶性氣體,無法因應日新月異且分工細微的半導體工藝廢氣.

Scrubber尾氣處理裝置半導體工藝廢氣處理方式
依據廢氣處理的特性,在處理可分為四種處理方式:
1 水洗式(處理腐蝕性氣體)
2 氧化式(處理燃燒性,毒性氣體
3 吸附式(干式)(依照吸附材種類處理對應之廢氣
4 等離子燃燒式(各類型廢氣皆可處理)
各類型之處理皆有其優缺點及其適用范圍. 處理方式水洗時,設備便宜處理方式簡單,僅能處理水溶性氣體;電熱水洗式應用范圍較水洗時,運轉成本高;干式處理效率佳,不適用于容易堵塞或氣體流。

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