SJ6000激光干涉儀
產品參數：
產品型號：SJ6000
產品名稱：SJ6000激光干涉儀
測量方式：單頻
穩頻精度：±0.05ppm
測量精度：±0.5ppm（0-40）℃
線性測量距離：（0-80）m
測量分辨率：1nm
動態采集頻率：50KHz
工作溫度范圍：（0-40）℃
環境溫度范圍：（0-40）℃，環境濕度：0-95%
主要特點：應用范圍廣、測量精度高、操作方便
激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的高精度、高靈敏度檢測設備，在制造領域應用廣泛。
SJ6000激光干涉儀采用美國進口高穩定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術，實現快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗力強、長期穩定性好的激光輸出；采用高精度環境補償模塊、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，結合線性鏡組能實現0.5ppm精度的線性測量；結合相應鏡組還能實現角度、直線度（平行度）、平面度、垂直度、回轉軸等參數的測量，并進行動態分析。
SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、分辨力高等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對線性、角度、平面度、直線度（平行度）、垂直度、回轉軸等參數的精密測量，并能對設備進行速度、加速度、頻率-振幅、時間-位移等動態性能分析。
在相關軟件的配合下，可自動生成誤差補償方案，為設備誤差修正提供依據。
工作原理
激光器發射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。
若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。
功能特點
測量精度高：以激光干涉技術為核心，分辨力可達納米級；采用高精度環境補償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環境因素對測量結果的影響；使用激光熱穩頻控制系統，保證激光長期穩頻精度；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩定。
具有實現線性、角度、直線度、垂直度、回轉軸等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等；同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并可以校準機床的回轉軸。
可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為機床誤差修正的提供依據。
具有動態測量(位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線) 及測量振幅和頻率分析的功能，可進行機床振動測量與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析等。
內置國內外通用的標準，含國標(GB) 、ISO(國際) 、BS(英制) 、美標、DIN(德標) 、JIS(日標)共10份 。可依據各種不同的機床標準分析處理數據，并可打印相應的曲線圖和數據報告。
可自動監測環境溫度、材料溫度、環境濕度和大氣壓力的參數。可選擇手動或自動進行環境補償。
測量記錄采用集中式數據庫管理，可按被測件類型、生產單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數據輸出到Word、Excel文檔。
安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。
