美國ALICAT MW氣體質量流量計/氣體質量流量控制器
標準精度 (NIST可溯源): +/- (0.8% Rdg + 0.2% F.S)
高精度 (選配): +/- (0.4% Rdg + 0.2% F.S)
以上精度適用于所有預置氣體及通過氣體編輯器(COMPOSER™)生成的自定義氣體
典型質量流量計響應時間常數: 5 毫秒 (超低流量下可能為10毫秒)
多種氣體標定: 氣體選擇(Gas Select™)5.0版預置多達130種常用氣體，另內置氣體編輯器(COMPOSER™)允許用戶自定義混合氣體
滿量程范圍: 0-0.5 sccm 至 0-4000 slpm
常規(guī)設備線性范圍: 0.5-99% F.S, 量程可調比 200:1
316L結構設備線性范圍: 1-99% F.S, 量程可調比 100:1 (MS系列)
允許管路壓力: 145 psig (標準) / 50 psig (MW低壓損系列)
常規(guī)設備滿量程壓損: 1-9 psi, 取決于流量范圍
“Whisper” 低壓損系列(MW)滿量程壓損: 0.06-0.69 psi, 取決于流量范圍
標準通訊方式: RS-232數字通訊和0-5v模擬通訊
選配模擬通訊: 1-5v, 0-10v, 4-20 mA; 第二道模擬輸出信號可選
選配通訊協(xié)議: RS-485, Modbus RTU (基于RS-232或RS-485), PROFIBUS
通訊接口: 8針mini-DIN
選配通訊接口: 9針或15針D-sub接口, 可定制引腳分配
動態(tài)顯示質量流量、體積流量、壓力和溫度等過程參數
標準顯示屏: 2.1″ 單色LCD數字式觸摸顯示屏
選配顯示屏: 2.1″ 背光彩色TFT數字式觸摸顯示屏
有條件的終身質保
對撞擊、潮濕環(huán)境、安裝方向等不敏感氣體選擇(Gas Select™)功能5.0兼容氣體列表 — 適用于所有艾里卡特質量流量計&質量流量控制器所有艾里卡特設備已將完整的NIST Ref Prop 9 系列氣體性能數據融入預置的130種兼容氣體列表，供用戶實時選擇、校準。用戶可在預置的氣體列表范圍內隨時切換氣體，并無需對設備進行再校準，所有預置氣體的校準均具有設備應有的NIST可溯源校準精度。 (詳見各項產品規(guī)格參數)氣體選擇(Gas Select™)功能5.0兼容氣體列表 — 適用于所有艾里卡特質量流量計&質量流量控制器
所有艾里卡特設備已將完整的NIST Ref Prop 9 系列氣體性能數據融入預置的130種兼容氣體列表，供用戶實時選擇、校準。用戶可在預置的氣體列表范圍內隨時切換氣體，并無需對設備進行再校準，所有預置氣體的校準均具有設備應有的NIST可溯源校準精度。 (詳見各項產品規(guī)格參數)
產品概述
Alicat的MS系列數字式質量流量計可精確、快速測量腐蝕性氣體(如：NH3、H2S、SiH4等)的質量流量、體積流量、壓力和溫度。MCS系列質量流量控制器通過定制化的高速比例控制閥還可精確控制腐蝕性過程氣體的質量流量、體積流量和壓力。
MW系列質量流量計&質量流量控制器的核心部件是Alicat
的層流壓差技術，確保在大流量情況仍然是線性流動，從而
補償了工藝溫度和壓力變化對質量流量及體積流量產生的影響。
所有Alicat質量流量計&質量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書。Alicat提供的用戶支持，包括技術咨詢、快捷的設備校準服務和有條件的終身質保。
MW系列質量流量計/質量流量控制器采用全不銹鋼結構及彈性密封材料，內置130/128種標準氣體供
選擇。集成式多功能數字顯示屏允許用戶通過顯示屏按鈕操作便可進行氣體切換、設定值輸入及PID閥門
調節(jié)。MS/MCS系列設備支持標準的模擬通訊和RS-232數字通訊模式，另有各類定制化選項供特殊項目需求，如：用于危險環(huán)境的ATEX(歐洲)1類2區(qū)和CSA(美國)1類2區(qū)認證產品等。另有便攜式(MBS系列)質量流量計可選。
產品應用
Alicat的MS/MCS系列數字式質量流量計/質量流量控制器為腐蝕性過程氣體應用的，如：半導體行業(yè)等。多變量測量與控制、多種氣體標定以及100:1量程可調比使得僅用單臺MS/MCS系列質量流量控制器
便可取代多臺設備的功效。可達0.4%的精度、0.2%重復性及不到100毫秒的控制響應時間優(yōu)化了氣體控制過程。
MS/MCS質量流量計&質量流量控制器可測量與控制從0-0.5 sccm到0-3000 slpm的滿量程的任何流量。
Standard Compatible Gas List for M-Series Meters
MS 系列質量流量計參數
0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 4000 slpm 滿量程
標準精度 (NIST可溯源): +/- (0.8% Rdg + 0.2% F.S)
高精度 (選配): +/- (0.4% Rdg + 0.2% F.S)
以上精度適用于所有預置氣體及通過氣體編輯器(COMPOSER™)生成的自定義氣體
典型質量流量計響應時間常數: 5 毫秒 (超低流量下可能為10毫秒)
多種氣體標定: 氣體選擇(Gas Select™)5.0版預置多達130種常用氣體，另內置氣體編輯器(COMPOSER™)允許用戶自定義混合氣體
滿量程范圍: 0-0.5 sccm 至 0-4000 slpm
常規(guī)設備線性范圍: 0.5-99% F.S, 量程可調比 200:1
316L結構設備線性范圍: 1-99% F.S, 量程可調比 100:1 (MS系列)
允許管路壓力: 145 psig (標準) / 50 psig (MW低壓損系列)
常規(guī)設備滿量程壓損: 1-9 psi, 取決于流量范圍
“Whisper” 低壓損系列(MW)滿量程壓損: 0.06-0.69 psi, 取決于流量范圍
標準通訊方式: RS-232數字通訊和0-5v模擬通訊
選配模擬通訊: 1-5v, 0-10v, 4-20 mA; 第二道模擬輸出信號可選
選配通訊協(xié)議: RS-485, Modbus RTU (基于RS-232或RS-485), PROFIBUS
通訊接口: 8針mini-DIN
選配通訊接口: 9針或15針D-sub接口, 可定制引腳分配
動態(tài)顯示質量流量、體積流量、壓力和溫度等過程參數
標準顯示屏: 2.1″ 單色LCD數字式觸摸顯示屏
選配顯示屏: 2.1″ 背光彩色TFT數字式觸摸顯示屏
有條件的終身質保
對撞擊、潮濕環(huán)境、安裝方向等不敏感氣體選擇(Gas Select™)功能5.0兼容氣體列表 — 適用于所有艾里卡特質量流量計&質量流量控制器所有艾里卡特設備已將完整的NIST Ref Prop 9 系列氣體性能數據融入預置的130種兼容氣體列表，供用戶實時選擇、校準。用戶可在預置的氣體列表范圍內隨時切換氣體，并無需對設備進行再校準，所有預置氣體的校準均具有設備應有的NIST可溯源校準精度。 (詳見各項產品規(guī)格參數)氣體選擇(Gas Select™)功能5.0兼容氣體列表 — 適用于所有艾里卡特質量流量計&質量流量控制器
所有艾里卡特設備已將完整的NIST Ref Prop 9 系列氣體性能數據融入預置的130種兼容氣體列表，供用戶實時選擇、校準。用戶可在預置的氣體列表范圍內隨時切換氣體，并無需對設備進行再校準，所有預置氣體的校準均具有設備應有的NIST可溯源校準精度。 (詳見各項產品規(guī)格參數)
產品概述
Alicat的MS系列數字式質量流量計可精確、快速測量腐蝕性氣體(如：NH3、H2S、SiH4等)的質量流量、體積流量、壓力和溫度。MCS系列質量流量控制器通過定制化的高速比例控制閥還可精確控制腐蝕性過程氣體的質量流量、體積流量和壓力。
MW系列質量流量計&質量流量控制器的核心部件是Alicat
的層流壓差技術，確保在大流量情況仍然是線性流動，從而
補償了工藝溫度和壓力變化對質量流量及體積流量產生的影響。
所有Alicat質量流量計&質量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書。Alicat提供的用戶支持，包括技術咨詢、快捷的設備校準服務和有條件的終身質保。
MW系列質量流量計/質量流量控制器采用全不銹鋼結構及彈性密封材料，內置130/128種標準氣體供
選擇。集成式多功能數字顯示屏允許用戶通過顯示屏按鈕操作便可進行氣體切換、設定值輸入及PID閥門
調節(jié)。MS/MCS系列設備支持標準的模擬通訊和RS-232數字通訊模式，另有各類定制化選項供特殊項目需求，如：用于危險環(huán)境的ATEX(歐洲)1類2區(qū)和CSA(美國)1類2區(qū)認證產品等。另有便攜式(MBS系列)質量流量計可選。
產品應用
Alicat的MS/MCS系列數字式質量流量計/質量流量控制器為腐蝕性過程氣體應用的，如：半導體行業(yè)等。多變量測量與控制、多種氣體標定以及100:1量程可調比使得僅用單臺MS/MCS系列質量流量控制器
便可取代多臺設備的功效。可達0.4%的精度、0.2%重復性及不到100毫秒的控制響應時間優(yōu)化了氣體控制過程。
MS/MCS質量流量計&質量流量控制器可測量與控制從0-0.5 sccm到0-3000 slpm的滿量程的任何流量。
Standard Compatible Gas List for M-Series Meters
MS 系列質量流量計參數
0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 4000 slpm 滿量程
