藍寶石晶體生長爐又稱藍寶石單晶體生長爐,洛陽西格馬可生產全自動晶體生長爐、晶體提拉爐、晶體高溫爐、晶體生長爐、結晶爐。
一、藍寶石晶體生長爐產品用途
藍寶石晶體生長爐主要用作晶體材料的結晶生長。本系列產品在各溫度環境下,可以分別實現坩堝上升法、提拉法、泡生法等多種晶體生長工藝,并可通簡易氣氛(氮氣、惰性氣體)。
二、藍寶石晶體生長爐產品結構
藍寶石晶體生長爐包括生長爐體、加熱系統、坩堝、隔熱材料、密封機構、升降機構、晶籽棒、真空系統、水冷系統、控制系統、測溫系統等。石晶體生長爐包括爐體、真空機組及發熱體,真空機組與爐體內部連通,發熱體設置在爐體內,爐體內還設有隔熱屏、溫區分隔板、溫度傳感器、料盤及傳動機構。
三、藍寶石晶體生長爐技術特點
藍寶石晶體生長爐是洛陽西格馬高溫電爐公司自行研制開發的高性能新型特種電爐,采用多段可編程式溫度控制器全過程自動控制溫度,產品結構新穎,操作簡便,綜合性能指標較高,處于國內水平,是理想的晶體生產裝備。
1)采用ZrB2陶瓷-石墨組合發熱體,可提供2200℃的高溫,與傳統的石墨發熱體電阻爐和鉬絲爐相比,節能50%以上;
2)升溫速度快,升至2200℃僅需250分鐘。
3)熱電偶采用ZrB2復合陶瓷溫度傳感器或者是ZrC復合陶瓷溫度傳感器,提高了測溫的精度高;
4)爐體內分隔成四個溫度場,通過熱電偶監測四個溫度場的溫度并進行調節,以使其具有較的溫度梯度,從而準確控制固液界面溫度,提高晶體生長的較熱場方式,進而找到晶體生長較途徑,以利于提高晶體生長速度和晶體生長質量;
5)通過坩堝升降裝置和籽晶棒升降裝置配合,使得坩堝內氧化鋁熔體的液面(即晶體生長部位)始終保持在一個位置,以便于*控制其溫度,從而利于晶體的生長。
四、藍寶石晶體生長爐產品型號
產品型號 | 升降比 | 坩堝尺寸mm | 額定溫度 | 功率 | 重量 | 速質比 |
SGM.AF40/20 | 1.01-1.08 | Ø200*350 | 400-600℃ | 12KW | 20kg | 80/90% |
SGM.AF70/35 | 1.01-1.08 | Ø250*400 | 400-600℃ | 15KW | 35kg | 80/90% |
SGM.AF120/55 | 1.01-1.08 | Ø300*450 | 400-600℃ | 18KW | 55kg | 80/90% |
SGM.AF180/90 | 1.01-1.08 | Ø350*500 | 400-600℃ | 20KW | 90kg | 80/90% |
SGM.AF250/140 | 1.01-1.08 | Ø400*550 | 400-600℃ | 25KW | 140kg | 80/90% |