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廣電計量檢測集團股份有限公司

12英寸大面積專用離子減薄儀(MU700)

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海續波光電技術有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/9/13 15:39:02
  • 訪問次數273
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上海續波光電技術有限公司是一家專業從事高性能薄膜沉積及處理設備、光電材料及軟件、金剛石合成及應用、激光等離子體仿真和診斷等產品及服務進口的技術貿易服務型公司。公司至今已與法國、德國、英國、瑞士、意大利、美國、加拿大、日本、俄羅斯等國家的多家企業建立了戰略合作關系,并服務于國內從事微電子、半導體、光學、納米技術等領域的研究所和大學。公司從事領域及產品主要包括:加速器質譜儀:第三代14C加速器質譜儀系統(AMS),包括全套可兼容第三代石墨化系統AGE3、氣動壓樣裝置PSP、鐵制分配器FED、管密封裝置TSE、氣體電離探測器GID、氣體接口系統GIS、碳酸鹽處理系統CHS、同位素比質譜儀IRMS。薄膜制備及處理:磁控濺射儀(magnetron sputtering system)、電子束蒸鍍設備(E-beam Evaporation system)、離子束濺射沉積(IBS system)、化學束外延鍍膜(CBE/GSMBE)、分子束外延設備(MBE)、離子減薄儀(Ion Milling)、超高真空多功能鍍膜設備、高精密光學鍍膜設備(Optical Coating system)、刻蝕機(RIE, RIEB)、超導約瑟夫森結制備(Josephson Junction, Qubits);金剛石制備及應用:納米晶金剛石制備設備、熱絲化學氣相沉積(HFCVD)、CVD單晶金剛石合成設備、CVD光學級金剛石窗口合成、微波等離子化學氣相沉積(MPCVD)、工具級金剛石涂層制備(tool coating)、金剛石單晶/多晶摻雜(single crystal diamond and doping)、CVD金剛石單晶及其應用、高溫高壓金剛石單晶(HPHT diamond)、金剛石拋光設備(diamond polishing)、激光切割設備(laser cutting)、鉆石凈度及切工評定儀器;高能密度物理:輻射流體力學模擬、原子光譜分析軟件、多維碰撞輻射軟件、三維熱輻射CAD軟件、狀態方程和不透明度、原子物理數據庫;微波干涉儀、金剛石靶丸、超高功率輸出窗口;激光器與設計:固體激光器設計軟件(Solid-state Laser)、光纖激光器設計軟件(Fiber laser)、半導體激光器設計軟件(Semiconductor laser)、激光鏡面鍍膜設備(Lasers coating system)、高功率激光輸出窗口(High power output window)、高功率激光熱沉片(Heat Sink)、高功率鉆石激光器(Diamond Laser)、金剛石窗口鍍增透膜(AR coating service);
關鍵詞:RIE、RIBE、反應離子束刻蝕、CAIEB、化學輔助離子束刻蝕、過渡金屬、磁性材料、MRAM、GMR、TMR、Pt、Cu、TeGe、PZT型號:MU700S;產地:歐洲
12英寸大面積專用離子減薄儀(MU700) 產品信息

關鍵詞:RIE、RIBE、反應離子束刻蝕、CAIEB、化學輔助離子束刻蝕、

                過渡金屬、磁性材料、MRAM、GMR、TMR、Pt、Cu、TeGe、PZT

 

型號:MU700S;    產地:歐洲;  

應用:過渡金屬, PZT, 磁性材料(MRAM, GMR, TMR), Pt, Cu, TeGe ;

 

代表性用戶:法國科學研究中心(CNRS)、意法半導體(ST)

 

RFICP源:束徑可達 220 mm

 

采用分子泵或低溫泵+干泵組合真空系統

 

均勻性:+/- 5%  on 290 mm襯底

 

水冷樣品臺,襯底尺寸可達直徑300mm

 

樣品臺可以傾斜和旋轉

 

配套SIMS用于刻蝕監控

 

配置Load Lock

 

控制系統:全自動控制,半自動和手動模式可用
              支持多級用戶權限設置和管理
              支持設備遠程操作、監控、診斷和維護
              系統自動報警及定位故障

 

關鍵詞:低溫泵
15700106413
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