旋轉涂層機/勻膠機/勻膠儀旋涂儀/甩膠機/旋涂機 型號:ZRX-26227

產品簡介：ZRX-26227勻膠儀旋涂儀
主要用于液體，膠體在材料表面形成薄膜。
ZRX-26227勻膠機旋涂儀 適用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷，不銹鋼，金屬等制版表面涂覆工藝。
ZRX-26227勻膠機旋涂儀 可在科研，教育，生產中應用。



ZRX-26227勻膠機
ZRX-26227勻膠機： 工作腔內徑D290mm 適合直徑D10mm-280mm園片及 200mmX200mm方形片。

*ZRX-26227高性能勻膠機旋涂儀26程序控制器：
可設定存儲26個不同樣片的旋轉涂敷工藝過程；
每個涂敷工藝過程可以設置51步不同的速度狀態；
加速度（及負加速度）。
中英文兩套操作系統供選擇。
操作系統內駐留涂敷工藝過程模板程序，方便快速調試并存儲程序。
設置程序：6鍵操作，人機交互式對話，提示操作。

*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 可連接滴膠機，自動控制在必要的瞬間滴膠，自動控制重復定量滴膠。

*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 工作腔可氮氣保護。
對所有的環境變量（溫度，濕度，潔凈度）有效控制，

*ZRX-26227高性能勻膠機旋涂儀 真空吸片，爪卡機構。2種工作狀態隨意選擇。 爪卡機構工作狀態無需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂膠。
*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 中心結構定位：圓形基片使用工具完成中心定位。方便快捷，定位
一片真空吸盤即可滿足（ZRX-26227適用3英寸-11英寸基片）；（TA-360適用3英寸-14英寸基片）。
小于3英寸可使用定制真空吸盤。
*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 卡盤，吸盤品種豐富，適應各種需要。
*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 真空吸片系統更安全：
安裝有真空度傳感器，涂敷工作過程電腦實時檢測系統真空度，必須在安全的真空度下，
電機啟動，運行。保障可靠吸片，不飛片。運行中失去真空，系統保護性停機。
*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 伺服電機，轉速精度更高：300 - 10000 轉/分，轉速穩定性：+ - 0.1 % 高轉速10000轉/分

單相交流電源：220V.50Hz
電機功率：200W
轉數：300 - 10000 轉/分。
可設定時間：1---9999秒。
尺寸： 490mm寬 x 380mm深 x 310 mm高
中心定位
利用中心定位板，將基片在機器轉軸中心定位。

中心定位板的孔位可以完成4，6，8，10英寸基片定位。完成勻膠。