X射線光電子能譜儀是新研發成功的一款ESCALAB 系列產品。ESCALAB Xi + 基于可擴展功能、系統優化以及多分析技術的集成化平臺，實現了高靈活性和完備的專業配置選項。前沿技術、直觀的軟件操作以及硬件配置，帶給用戶優秀的實驗結果和生產力。數據系統提供系統控制、數據采集、數據處理與系統運行報告等一站式服務。

分析性能

? 定量能譜成像

? 快速平行成像，分辨率優于1µm

? 無需背底修正探測器

? 靈敏度和能量分辨率

? 微聚焦單色源

? 元素化學成像分析

? 自動化高效離子剖析源

? 一鍵式電荷補償

現代化操作

? 高度自動化

– 分析區域和角度分辨可選

– 自動化氣體調節和真空控制

? 隨時校準

– 能量的刻度和傳輸函數的校準

– 離子槍定位和離子束聚焦

? 鼠標點擊樣品導航和分析設置

– 實時顯示分析位置

– 高強度照明

靈活的設計

? 標配ISS和REELS功能

? 標配多功能進樣室

?UPS和AES/SEM/SAM/EDS功能可選

? 可選的樣品預處理附件，包括：

– 樣品斷裂臺、單晶解理、樣品刮片

– 樣品加熱/冷卻裝置

– 大面積清潔離子槍

– 高壓反應室