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SFEQ-1型超臨界二氧化碳清洗裝置

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱南通儀創實驗儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/9/7 15:51:39
  • 訪問次數139
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南通儀創實驗儀器有限公司座落于江蘇省海安市南莫鎮工業集中區(黃陳村),是以設計、 制造超臨界流體裝置和石油科研儀器為主的新型技術企業。產品用于新材料、新能源以及國防、醫藥、食品、石油化工等領域。長期以來,企業始終堅持'創新進取,與時俱進"的發展方針,專注于產品的拓展、升級。利用成熟的智能科技和現代化儀器設計理念,不斷優化產品的工藝、性能,提升產品的綜合競爭力。經多年的堅實運營,企業在超臨界流體應用和石油行業等方面積累了富、繢經驗,先后形成具有很強競爭力的產品,如超臨界氣凝膠干燥、超臨界萃取、超臨界清洗、水氧化、反應等系列產品。“注重細節,精益求精是企業一貫的作風,在開拓提升產品的同時,企業注重產品的細節掌控,嚴格按照IS09001: 2015質管理體系要求進行產品的過程和成品檢驗,保證產品安全可靠、質量穩定。牢記"產品的安全質量,從每個細節抓起”。在提高自身創新能力的同時,企業不斷加強與國內科研單位的合作,先后與北京大學、國防科技大學、軍事防化研究院、北京理工大學、北京化工大學、北京工業大學、同濟大學、中國大學、東華理工大學、中國航天科工六院、中國工程物理研究院、國核電運等科研院所建立協同合作關系。團結、創新、實、奮進是企業矢志不渝的追求。企業倍加珍惜每位用戶的認同,持"- -、戶至上、以質興業、以優取勝"的經營宗旨,不斷交予用戶優質的產品,與用戶優勢互補、攜手共進!
超臨界萃取設備
超臨界二氧化碳無損傷清洗設備。應用此設備對硅片進行清洗的顆粒明顯減少,且平均粒徑小于傳統清洗的粒徑。相對用等離子法清洗,該方法不會對硅片造成損傷,同時可減少工藝步...
SFEQ-1型超臨界二氧化碳清洗裝置 產品信息

  超臨界二氧化碳無損傷清洗設備。應用此設備對硅片進行清洗的顆粒明顯減少,且平均粒徑小于傳統清洗的粒徑。相對用等離子法清洗,該方法不會對硅片造成損傷,同時可減少工藝步驟,節省時間,提高工作效率。

  超臨界二氧化碳無損傷清洗設備擁有良好的溫度和壓力控制系統,并配有遠程智能化操作系統,是一個適合高校和科研機構的半導體工藝平臺。該設備有望解決微電子行業清洗工藝中的許多難題,例如刻蝕以及灰化后高縱深比結構清洗、刻蝕以及灰化后多孔低介電材料清洗、清洗后干燥、半導體器件金屬顆粒的清洗等

  超臨界超聲清洗目前應用領域是核電特種清洗、電子電路芯片的清洗以及精密機加工件的表面和層隙清洗。

  小型清洗裝置,利用超臨界二氧化碳的鉆透攜帶能力,對清洗物表面和深縫隙進行大流量沖洗,并攜帶分離收集,二氧化碳實現循環使用。整個清洗過程在一密閉回路中進行,對環境無污染,清洗物表面質量好。

序號

項目名稱

性能參數

1

工作壓力

≤35MPa

2

工作溫度

室溫~90℃

3

清洗釜

1L/35MPa           

4

清洗工裝

塔式鎖緊結構2-24片

5

回收釜

1L+1L /30MPa

6

制冷系統

2400kcal/h 溫控范圍:-5℃~﹢5℃風冷,密封循環

7

二氧化碳儲罐

2L/16MPa

8

二氧化碳泵

4L/h  40MPa      雙柱塞變頻可調

9

電源

AC380V 50Hz   三相五線9kW

設備優勢

1、清洗工裝采用塔式結構,并設置均布系統,保證每片樣品都與高速清洗流體接觸;

※注:清洗釜體結構以及工裝結構均以實際樣品為依據設計、配置。


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