芯明天放大機構式壓電位移臺
P79系列Z向樣品升降壓電掃描臺為一維Z軸微動平臺，它的移動范圍可達210µm，定位分辨率可達3nm。
芯明天放大機構式壓電位移臺P79平臺可對樣品進行Z軸快速精密的聚焦調節，階躍時間達毫秒量級。主要用于配套宏動XY軸運動掃描平臺或壓電馬達平臺使用，在宏動平臺進行樣品位置的粗調后，再通過P79壓電掃描臺進行樣品位置的精確調整，定位精度達納米量級。
兩款規格型號、開環/閉環可選
P79系列Z向掃描臺具有兩種Z向行程范圍可供選擇，分別為110μm及210μm，可根據精確調整的運動范圍進行選擇。
另外，P79系統可提供開環及閉環版本。開環版本定位速度更快，且分辨率更高；對于有定位精度及穩定性需求的應用，可以選擇配置SGS閉環傳感器，裝配在平臺的位置，提供高分辨率、快速響應的傳感電壓信號給壓電控制器。全橋設計避免了溫度的漂移，確保了定位精度。
特性
• 一維Z向運動，zui大行程210μm • zui大承載2kg • 通孔尺寸：128.5×86.5mm
• 開環、閉環可選 • 閉環重復定位精度高
外觀形狀 | 產品運動示意圖 | 臺體采用機構放大式驅動設計，行程范圍大 |
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大通孔、快速聚焦、Z向捕獲、超精密導向機構 | 頻率負載曲線 | 表面絕緣壓電陶瓷提供長使用壽命 | |
P79系列壓電掃描臺具有方形通孔，通孔尺寸為128.5×86.5mm，這種大通孔設計主要是為了滿足各種樣品夾持結構，如多井控制盤。 壓電陶瓷驅動以及無摩擦柔性鉸鏈結構使其具有超快的響應速度，Z軸步進速度和穩定時間僅為馬達驅動的1/20，大大提高了成像捕獲能力和生產能力。 |
| 壓電掃描臺采用高*性、高穩定性的表面絕緣壓電陶瓷，陶瓷抵抗外部環境的能力非常高且無漏電現象。
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應用
• 熒光顯微 • 共焦顯微 • 精密定位/樣品檢測 •光學捕獲 • 掃描顯微 • 干涉/計量 • 自動聚焦系統 • 表面檢測/3D成像 • 光學計量 • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物科技
