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廣電計量檢測集團股份有限公司

1200℃PECVD系統

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱鄭州科佳電爐有限公司
  • 品       牌
  • 型       號KJ-PECVD-1
  • 所  在  地
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2022/9/2 9:51:54
  • 訪問次數201
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  鄭州科佳電爐誠招產品代理,提供OEM代工。    



科佳電爐有限公司專業研發、制造高低溫加熱干燥設備、UV(紫外線)干燥設備。公司擁有優良的加工設備和*的加工工藝和檢測方法。主營產品。其中高溫加熱設備有:實驗電爐、箱式電爐、管式電爐、馬弗爐高溫電爐、鐘罩爐、升降爐真空爐、井式爐氣氛爐;

   低溫加熱干燥設備有:工業精密熱風烤箱、潔凈型熱風烤箱、無塵、無氧化烤箱、隧道式烤箱、紅外線烤箱等;UV(紫外線)干燥設備UV固化機、UV干燥機、UV上光機等。我們堅持以客戶需求為導向,致力于不斷提高產品的質量和完善的服務,努力確??蛻魸M意。

     我們在堅持自主創新的基礎上吸收國內外優秀產品的*技術,結合國內實際情況研究開發、生產高低溫干燥設備UV干燥設備。高溫加熱干燥設備產品廣泛用于大專院校、科研院所,各類企業等;廣泛用于陶瓷、化工、電子、冶金新材料開發、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產。低溫加熱干燥設備和UV(紫外線)干燥設備廣泛應用于PCB、FPC、LCD、LCM、TOUCH PANEL、LED、EL、MLCC、IC封裝、CMOS、SMT、電腦鍵盤、薄膜開關、硅膠按鍵光學鏡片、線圈、化工、木器、運動鞋商標印刷、紙張印刷、汽車配件、塑膠領域。產品遠銷美洲、歐洲、中東、東南亞等地。

科佳公司全體員工真誠希望與各界朋友,攜手共進,合作共贏!

實驗電爐,馬弗爐,旋轉升降爐,高溫真空爐
產品介紹:PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜
1200℃PECVD系統 產品信息
產品介紹:
    PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。
 
產品用途:
    溫度范圍寬;濺射區域長;整管可調;精致小巧,性價比高,可實現快速升降溫,是實驗室生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復合薄膜等的理想選擇,也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用。
 
產品參數:
產品名稱1200℃PECVD系統
產品型號KJ-PECVD-1200-50*300-F3
加熱系統顯示LED
溫度1200℃
長期工作溫度≤1100℃
升溫速率 0~15℃/min (max. 20℃/min)
溫區300mm
加熱元件鉬棒
熱電偶K type
溫度均勻性±1℃
爐管尺寸60 x 1200mm
材質:氧化鋁
溫度控制通過可控硅功率控制進行PID自動控制
加熱過程30步可編程
電壓220V,50 Hz,單相 3KW
工作壓力0.02MPa
真空系統旋片泵
包括 KF25 適配器、真空泵組波紋管和帶輪子的移動柜。
 
冷態極限真空10Pa。   
真空計Inficon 數顯真空計
真空法蘭帶閥門和針頭的不銹鋼真空法蘭
質量流量計流量范圍CO2(流量范圍:0-200 sccm
CH4(流量范圍:0-200 sccm)
N2 流量范圍(流量范圍:0-200 sccm)
準確性±1.5 % F.S.
重復精度±1.5 % F.S.
響應時間≦10sec
工作壓差范圍0.1~0.5MPa
耐壓性3MPa
溫度系數零:≤±0.2% F.S./℃; 跨度:≤±0.2% F.S./℃
工作環境溫度5~45℃
輸入信號0 V ~ +5.00 V
輸出信號0 V ~ +5.00 V
等離子射頻發生器輸出功率:0 -300W可調,±1%穩定性
射頻頻率:13.56 MHz ±0.005% 穩定性
反射功率: 120W
電源穩定性指標:±0.1%
匹配:自動
噪音:<50 分貝。
整體效率:≧70%

 

 

售后服務

 

 1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
 2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
 3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。

 

 

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