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1200℃PECVD系統

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱鄭州科佳電爐有限公司
  • 品       牌
  • 型       號KJ-PECVD-1
  • 所  在  地
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2022/9/2 9:51:54
  • 訪問次數168
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  鄭州科佳電爐誠招產品代理,提供OEM代工。    



科佳電爐有限公司專業研發、制造高低溫加熱干燥設備、UV(紫外線)干燥設備。公司擁有優良的加工設備和*的加工工藝和檢測方法。主營產品。其中高溫加熱設備有:實驗電爐箱式電爐管式電爐馬弗爐高溫電爐鐘罩爐升降爐真空爐井式爐氣氛爐

   低溫加熱干燥設備有:工業精密熱風烤箱、潔凈型熱風烤箱、無塵、無氧化烤箱、隧道式烤箱、紅外線烤箱等;UV(紫外線)干燥設備UV固化機、UV干燥機、UV上光機等。我們堅持以客戶需求為導向,致力于不斷提高產品的質量和完善的服務,努力確保客戶滿意。

     我們在堅持自主創新的基礎上吸收國內外優秀產品的*技術,結合國內實際情況研究開發、生產高低溫干燥設備UV干燥設備高溫加熱干燥設備產品廣泛用于大專院校、科研院所,各類企業等;廣泛用于陶瓷化工電子冶金新材料開發機械耐火材料建材特種材料等領域的實驗和生產。低溫加熱干燥設備和UV(紫外線)干燥設備廣泛應用于PCB、FPC、LCD、LCM、TOUCH PANEL、LED、EL、MLCC、IC封裝、CMOS、SMT、電腦鍵盤、薄膜開關硅膠按鍵光學鏡片線圈、化工、木器、運動鞋商標印刷、紙張印刷、汽車配件塑膠領域。產品遠銷美洲、歐洲、中東、東南亞等地。

科佳公司全體員工真誠希望與各界朋友,攜手共進,合作共贏!

實驗電爐,馬弗爐,旋轉升降爐,高溫真空爐
產品介紹:PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜
1200℃PECVD系統 產品信息
產品介紹:
    PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。
 
產品用途:
    溫度范圍寬;濺射區域長;整管可調;精致小巧,性價比高,可實現快速升降溫,是實驗室生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復合薄膜等的理想選擇,也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用。
 
產品參數:
產品名稱1200℃PECVD系統
產品型號KJ-PECVD-1200-50*300-F3
加熱系統顯示LED
溫度1200℃
長期工作溫度≤1100℃
升溫速率 0~15℃/min (max. 20℃/min)
溫區300mm
加熱元件鉬棒
熱電偶K type
溫度均勻性±1℃
爐管尺寸60 x 1200mm
材質:氧化鋁
溫度控制通過可控硅功率控制進行PID自動控制
加熱過程30步可編程
電壓220V,50 Hz,單相 3KW
工作壓力0.02MPa
真空系統旋片泵
包括 KF25 適配器、真空泵組波紋管和帶輪子的移動柜。
 
冷態極限真空10Pa。   
真空計Inficon 數顯真空計
真空法蘭帶閥門和針頭的不銹鋼真空法蘭
質量流量計流量范圍CO2(流量范圍:0-200 sccm
CH4(流量范圍:0-200 sccm)
N2 流量范圍(流量范圍:0-200 sccm)
準確性±1.5 % F.S.
重復精度±1.5 % F.S.
響應時間≦10sec
工作壓差范圍0.1~0.5MPa
耐壓性3MPa
溫度系數零:≤±0.2% F.S./℃; 跨度:≤±0.2% F.S./℃
工作環境溫度5~45℃
輸入信號0 V ~ +5.00 V
輸出信號0 V ~ +5.00 V
等離子射頻發生器輸出功率:0 -300W可調,±1%穩定性
射頻頻率:13.56 MHz ±0.005% 穩定性
反射功率: 120W
電源穩定性指標:±0.1%
匹配:自動
噪音:<50 分貝。
整體效率:≧70%

 

 

售后服務

 

 1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
 2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
 3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。

 

 

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