滑道式PECVD系統(tǒng)由PT-1200T管式爐加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、質(zhì)量流量計(jì)供氣系統(tǒng)、等離子射頻電源系統(tǒng)組成。借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。
產(chǎn)品應(yīng)用：
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管（CNT）、石墨烯材料等。
產(chǎn)品參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱 | 滑道式PECVD系統(tǒng) |
| 滑軌管式爐部分 | |
| 產(chǎn)品型號(hào) | KJ-T1200-S6044-LK-Z |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 440mm |
| 爐管直徑 | 直徑60mm |
| 工作溫度 | ≦1100℃ |
| 溫度 | 1200℃ |
| 測(cè)溫元件 | K型熱電偶 |
| 溫控系統(tǒng) | PID微電腦可編程自動(dòng)控制 |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 溫控保護(hù) | 具有超溫和斷偶保護(hù)功能 |
| 升溫速率 | 0-20ºC/min |
| 加熱元件 | 高電阻電熱合金絲OCr27A17Mo |
| 工作電壓 | AC 220V 單相 50HZ |
| 滑軌設(shè)計(jì) | 能實(shí)現(xiàn)快速升降溫 |
| 爐膛材料 | 采用多晶纖維爐膛材料，材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡 |
| 密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好 |
| 爐 管 | 高純石英管 |
| 法 蘭 | 不銹鋼法蘭，方便拆卸，放取材料 |
| 爐殼溫度 | ≤45℃ |
| 真空系統(tǒng)部分 | |
| 名稱 | 高真空分子泵組 |
| 主要參數(shù) | 真空泵極限真空度10-3 pa（包含KF25接口和可移動(dòng)箱體） |
| 真空計(jì)測(cè)量范圍 | 其測(cè)量范圍為1×105--1×10-5pa |
| 氣路系統(tǒng)部分 | |
| 名稱 | 四路質(zhì)量流量計(jì) |
| 氣路 | 四路 |
| 流量控制 | 每路氣體含有針閥單獨(dú)控制 |
| 流量計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì) |
| 流量范圍 | 0-1000sccm可調(diào) |
| 工作環(huán)境溫度 | 5℃-45℃ |
| 等離子電源系統(tǒng) | |
| 匹配功率范圍 | 0-500W |
| 工作頻率 | 13.56MHZ+0.005% |
| 正常工作反射功率 | ＜3W |
| 匹配時(shí)間 | ＜3S |
| 傳輸效率 | ＞90% |
| 匹配器電源 | AC220V/50-60HZ |
| 輸入連接器 | N型 |
| 輸出連接器 | UHF |
| 控制模式 | 手動(dòng)/自動(dòng) |
| 可設(shè)預(yù)置點(diǎn)數(shù) | 7 |
| 認(rèn)證 | *、CE認(rèn)證 |
| 售后服務(wù) | 質(zhì)保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍） |
1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。
