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廣電計量檢測集團股份有限公司

流化床CVD系統

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱鄭州科佳電爐有限公司
  • 品       牌
  • 型       號KJ-CVD-DZ
  • 所  在  地
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2022/9/1 15:53:50
  • 訪問次數285
產品標簽:

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  鄭州科佳電爐誠招產品代理,提供OEM代工。    



科佳電爐有限公司專業研發、制造高低溫加熱干燥設備、UV(紫外線)干燥設備。公司擁有優良的加工設備和*的加工工藝和檢測方法。主營產品。其中高溫加熱設備有:實驗電爐箱式電爐管式電爐馬弗爐高溫電爐鐘罩爐升降爐真空爐井式爐氣氛爐

   低溫加熱干燥設備有:工業精密熱風烤箱、潔凈型熱風烤箱、無塵、無氧化烤箱、隧道式烤箱、紅外線烤箱等;UV(紫外線)干燥設備UV固化機、UV干燥機、UV上光機等。我們堅持以客戶需求為導向,致力于不斷提高產品的質量和完善的服務,努力確保客戶滿意。

     我們在堅持自主創新的基礎上吸收國內外優秀產品的*技術,結合國內實際情況研究開發、生產高低溫干燥設備UV干燥設備高溫加熱干燥設備產品廣泛用于大專院校、科研院所,各類企業等;廣泛用于陶瓷化工電子冶金新材料開發機械耐火材料建材特種材料等領域的實驗和生產。低溫加熱干燥設備和UV(紫外線)干燥設備廣泛應用于PCB、FPC、LCD、LCM、TOUCH PANEL、LED、EL、MLCC、IC封裝、CMOS、SMT、電腦鍵盤、薄膜開關硅膠按鍵光學鏡片線圈、化工、木器、運動鞋商標印刷、紙張印刷、汽車配件塑膠領域。產品遠銷美洲、歐洲、中東、東南亞等地。

科佳公司全體員工真誠希望與各界朋友,攜手共進,合作共贏!

實驗電爐,馬弗爐,旋轉升降爐,高溫真空爐
產品介紹:該系統以硅碳棒為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端用不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,真空泵接口,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點
流化床CVD系統 產品信息

產品介紹:
  該系統以硅碳棒為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端用不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,真空泵接口,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點。
結構組成:
  定制流化床CVD系統,由真空立式管式爐、供氣系統、真空系統、真空測量系統組成。 

應用范圍:
    廣泛應用于半導體工業中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。
 
技術參數:

產品名稱

流化床CVD系統

產品型號

KJ-CVD-DZ

立式管式爐

爐膛模式

立式開啟式

爐膛材料

進口氧化鋁耐火纖維

加熱元件

優質硅碳棒

極限溫度

1400℃

工作溫度

≤1300℃

升溫速率

≤20℃(建議:15℃/min)

加熱溫區

單溫區、多溫區

溫區總長度

200、300、440

爐管材質

高純石英管、剛玉管

爐管直徑

40、50、60、80、100mm......

密封方式

304不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈)  

控制模式

多段智能PID程序控溫  預留通訊接口

控溫精度

±1℃

溫度曲線

多段"時間—溫度曲線"任意可設

測溫元件

K型熱電偶

氣路系統

工作電壓

220V/50HZ

輸出功率

18W

工作溫度

5--45℃

氣體通道

可同時連接多種氣源

流 量 計

質量流量計

A路量程  

0~500SCCM

B路量程 

0~500SCCM

C路量程  

0~500SCCM

.....

 .....

氣路壓力

-0.1~0.15 MPa

截止閥

不銹鋼材質

氣體連接管

1/4不銹鋼管

數顯真空計及連接件

數顯真空計  

數顯真空計安裝在不銹鋼法蘭上

      真空泵組(相關連接配件)

真空泵

真空泵,及相應連接管件 220V/50HZ

認證

*、CE認證

售后服務

質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍)

 

 

售后服務

 

 1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
 2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
 3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。

 

 

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