該系統以硅碳棒為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端用不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,真空泵接口,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點。
結構組成:
定制流化床CVD系統,由真空立式管式爐、供氣系統、真空系統、真空測量系統組成。
應用范圍:
廣泛應用于半導體工業中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。
技術參數:
產品名稱 | 流化床CVD系統 |
產品型號 | KJ-CVD-DZ |
立式管式爐 | |
爐膛模式 | 立式開啟式 |
爐膛材料 | 進口氧化鋁耐火纖維 |
加熱元件 | 優質硅碳棒 |
極限溫度 | 1400℃ |
工作溫度 | ≤1300℃ |
升溫速率 | ≤20℃(建議:15℃/min) |
加熱溫區 | 單溫區、多溫區 |
溫區總長度 | 200、300、440 |
爐管材質 | 高純石英管、剛玉管 |
爐管直徑 | 40、50、60、80、100mm...... |
密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈) |
控制模式 | 多段智能PID程序控溫 預留通訊接口 |
控溫精度 | ±1℃ |
溫度曲線 | 多段"時間—溫度曲線"任意可設 |
測溫元件 | K型熱電偶 |
氣路系統 | |
工作電壓 | 220V/50HZ |
輸出功率 | 18W |
工作溫度 | 5--45℃ |
氣體通道 | 可同時連接多種氣源 |
流 量 計 | 質量流量計 |
A路量程 | 0~500SCCM |
B路量程 | 0~500SCCM |
C路量程 | 0~500SCCM |
..... | ..... |
氣路壓力 | -0.1~0.15 MPa |
截止閥 | 不銹鋼材質 |
氣體連接管 | 1/4不銹鋼管 |
數顯真空計及連接件 | |
數顯真空計 | 數顯真空計安裝在不銹鋼法蘭上 |
真空泵組(相關連接配件) | |
真空泵 | 真空泵,及相應連接管件 220V/50HZ |
認證 | *、CE認證 |
售后服務 | 質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍) |
1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。