產品介紹:
BJ-PD是一款多路質量流量計控制系統,其質量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里,移動柜可以承重200KG,所以在與本公司大多數管式爐配套使用時,可將管式爐置于移動柜上以節約空間。各通道氣路的流量設定和狀態顯示在數顯屏幕上,此款設備廣泛的用于材料界中CVD實驗和各種材料的退火實驗。
產品參數:
1、氣路通道有:常規有2路/3路/4路,其他可根據用戶要求定做
2、氣路流量控制:質子流量控制器
3、接 口: Φ6
4、顯 示: LED
5、工作環境溫度: 5~45℃
6、流量控制器: 質子流量控制器(詳細技術參數請查看后面)
7、四氟管:Φ6外XΦ4內
8、壓力真空表 :-0.1~0.15 MPa , 0.01 MPa/格
9、截 止 閥:Φ6
質量流量計技術參數:質子流量控制器普通型,模擬電路,橡膠密封,管狀分流,不易堵塞。
產品指標:
1、準確度:±1.5% F.S
2、線性:±0.5~1.5% F.S
3、重復精度:±0.2% F.S
4、響應時間:10S
5、氣壓降:<0.01MPa
6、壓力:3MP
7、工作環境溫度:5~45℃
8、輸入輸出信號:0~+5.00V
9、電源:+15V 50mA -15V 50mA
10、用戶可選量程:5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM(其他量程用戶可選配)