產品描述

iNano采用InForce 50驅動器進行納米壓痕和通用納米機械測試。 InForce 50的50mN力荷載和50μm位移范圍使得該系統適合各種測試。 InView軟件是一個靈活的現代軟件包，可以輕松進行納米級測試。 iNano是內置高速InQuest控制器和隔振門架的緊湊平臺。 該系統可以測試金屬、陶瓷、復合材料、薄膜、涂層、聚合物、生物材料和凝膠等各種不同的材料和器件。

硬度和模量測量(Oliver-Pharr)

機械表征在薄膜的加工和制造中至關重要，其中包括汽車工業中的涂層質量，以及半導體制造前段和后段的工藝控制。

iNano納米壓痕儀能夠測量從超軟凝膠到硬涂層的各種材料的硬度和模量。 對這些特性的高速評估保證了在生產線上進行質量控制。

高速材料性質分布

對于包括復合材料在內的許多材料，其機械性能可能因部位而異。 iNano的樣品平臺可以在X軸和Y軸上移動100mm，并在Z軸方向移動25mm，這使得該系統適用于不同的樣品高度并可以在很大的樣品區域上進行測量。 可選的NanoBlitz形貌和層析成像軟件可以快速繪制任何測得的機械屬性的彩色分布圖。

ISO 14577硬度測試

iNano納米壓痕儀包括預先編寫的ISO 14577測試方法，可測量符合ISO 14577標準的材料硬度。 該測試方法對楊氏模量、儀器硬度、維氏硬度和標準化壓痕進行自動測量和報告。

聚合物Tan Delta、儲存和損失模量

iNano納米壓痕儀能夠針對包括粘彈性聚合物的超軟材料測量tan delta和儲存與損耗模量。 儲存與損耗模量以及tan delta是粘彈性聚合物的重要特性，其能量作為彈性能量存儲并作為熱量消耗。 這兩個指標都用于測量給定材料的能量消耗。

高溫納米壓痕測試

高溫下的納米壓痕對于表征熱應力下的材料性能至關重要，特別對熱機械工藝中的失效機理進行量化。 在機械測試期間改變樣品溫度不僅能夠測量熱引起的行為變化，還能夠量化在納米級別上不易測試的材料過渡塑性。