（1）煙氣經(jīng)過管道收集，在進入煙氣治理設(shè)備之前先經(jīng)過管道過濾器粗濾，防止大顆粒物進入處理設(shè)備，給設(shè)備造成影響。

（2）煙氣粗濾后進入預處理模塊，預處理模塊采用油煙分離板構(gòu)造，將煙氣中夾雜的焦油、粉塵去除。

（3）經(jīng)過預處理模塊除油煙后，煙氣進入設(shè)備的核心處理區(qū)域----等離子凈化區(qū)，等離子凈化采用注入式等離子發(fā)生裝置。外界新鮮空氣經(jīng)低溫等離子發(fā)生裝置，得到等離子體送入等離子凈化區(qū)。在等離子凈化區(qū)，大部分煙氣分子被等離子體轟擊、氧化后變成無毒、無色、無味的氣體。

（4）夾雜著部分低溫等離子體的煙氣到達光化學模塊。高強輻照場對煙氣成份有破壞作用并產(chǎn)生活潑的次生氧化劑；煙氣成份在氧化劑和光的協(xié)同作用下持續(xù)發(fā)生氧化分解，最終生成二氧化碳和水。

（5）超微凈化模塊設(shè)有順流循環(huán)噴淋系統(tǒng)、錯流循環(huán)噴淋系統(tǒng)、重力沉降、碰撞除塵、氣流均布裝置，可以去除微小粉塵，滿足排放標準。

（6）整個煙氣治理設(shè)備中均設(shè)計有自清系統(tǒng)，利用循環(huán)水對系統(tǒng)進行自動清潔。在光化學區(qū)和超微凈化模塊所產(chǎn)生的廢水經(jīng)過濾系統(tǒng)的過濾后循環(huán)利用。

（7）氣體在排放前，再經(jīng)過機械除霧區(qū)。在除霧區(qū)內(nèi)，氣體中夾帶的水霧在折流板功能段內(nèi)凝聚、滴落。

（8）除霧后，優(yōu)于國家排放標準的氣體通過引風機排入大氣。

可根據(jù)不同工藝段廢氣的特點，設(shè)計采用不同的強針對性的工藝技術(shù)；組合式工藝極大的提高了廢氣治理效率。

低溫等離子反應的實質(zhì)是利用電磁場中的高能電子轟擊污染物分子，使之化學鍵斷裂，形成活性粒子后再與其他基團重新組合形成更穩(wěn)定的無害物質(zhì)的過程。

光化學反應的實質(zhì)是利用高強光場輻照，污染物質(zhì)吸收光子的能量發(fā)生躍遷，使其處于極不穩(wěn)定的激發(fā)態(tài)，然后再與催化產(chǎn)生的活性基團反應，生成無害物質(zhì)的過程。

光化學能大大促進低溫等離子的反應效果與速率，同時，低溫等離子中電磁場中的活性離子和自由基也能促進光化學反應的快速、有效的進行，二者相互促進，相輔相成。

兩個場強的相互作用，使反應效率提高了10至100倍，同時大大降低了項目產(chǎn)品的功耗。

處理系統(tǒng)設(shè)備具有以下特點： 工藝系統(tǒng)的處理效率很高，并且很穩(wěn)定； 初期投資費用不高，運行費用低，維護保養(yǎng)簡單， 工藝系統(tǒng)容易操作，占地面積小，且經(jīng)此工藝處理后無二次污染。

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