Leica離子減薄儀EM RES101是一臺全計算機控制的多功能離子減薄系統,

主要特點

1、減薄角度可調由0º至90º

2、一體化設計,重復性實驗設備,可靠具操作性

3、全電腦控制,精確的參數調整,運行中無需人干涉

4、鞍式離子槍,高能量-快速蝕刻

5、制冷系統,銅傳導,確保TEM,SEM在低溫下操作

6、主機內置2級泵,確保高真空

7、減少裝卸時間,高效率

8、操作簡便直觀,帶自保護防止離子溢出與過熱功能

9、法拉力環檢查樣品是否穿孔,自動終止功能

10、裝載閘保持系統高真空度穩定不變

11、減薄過程中離子能量高低可調

12、內置視頻監視器,直接觀察樣品減薄情況

13、可編程,觸摸屏設計,直觀操作