GPI XP/D激光干涉儀--運(yùn)用移相干與原理，供給高精度的平面面形，球面面形，曲率半徑，樣品表面質(zhì)量，傳輸波前的測量和分析。GPI XP/D是ZYGO在中國乃至較高的一款激光干與儀，廣泛應(yīng)用于科研教育和生產(chǎn)檢測中。GPI XP/D主機(jī)為Fizeau型干與儀，測量精度高且操作簡單，選用精密移相技能和高分辨率CCD接收器件640Х480（可以升級(jí)為1024×1024），合作功能強(qiáng)大MetroPro軟件可以獲得高重復(fù)性和高精度的測量成果，其三平板測量重復(fù)性優(yōu)于λ/300，rms重復(fù)性優(yōu)于λ/10,000。并能模仿樣品表面面形，并顯示明顯的，可旋轉(zhuǎn)的3D彩色圖畫，可選的剖面圖以及各種統(tǒng)計(jì)數(shù)字成果等。同時(shí)，針對(duì)特別的樣品、特別的測量需求，可以為用戶規(guī)劃定制特別的測量系統(tǒng)，結(jié)合MetroPro軟件，為用戶供給的技能解決方案并獲得滿意的測量成果。
系統(tǒng)：
◆測量功用：精細(xì)測量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的外表描摹及特性
◆測量方法：激光3維相移干涉法
◆測量功用：精細(xì)測量各種不同反射面或光學(xué)面的描摹及特性
◆測量光束直徑：4″(102 mm)和6″(152 mm)
◆裝備：水平式,立式向下或立式向上
◆光學(xué)中心線：4.25″(108 mm)
◆對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)：快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS)(雙光點(diǎn)定位于十字線)
◆擴(kuò)大規(guī)模：6:1（非接連式擴(kuò)大，低失真）
◆調(diào)整可視規(guī)模：4″:±3°6″:±2°
◆光曈調(diào)焦規(guī)模：-800 mm/+1600 mm，4″孔徑
◆樣件觀察：計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)顯現(xiàn)/單獨(dú)監(jiān)視器
◆計(jì)算機(jī)：DELL PC；配有硬盤，光驅(qū)，17英寸液晶彩顯,可選配打印機(jī)
◆軟件：Microsoft??Windows XP專業(yè)版下運(yùn)行的ZYGO MetroProTM軟件
◆尺寸(高x寬x長)：水平式4″:308 x 694 x 308 mm，水平式6″:308 x 992 x 308 mm，立式:H x 686x686 mm
激光：
◆類型：II級(jí)氦-氖激光
◆波長：632.8 nm
◆通光孔徑輸出功率：≤1 mw
◆光束偏振態(tài)：圓偏振，可選線偏振開關(guān)
◆相干長度：＞100 m
樣件特性：
◆材質(zhì)：各種不同的玻璃、超精加工金屬、陶和塑料
◆預(yù)處理：無需特殊處理，非接觸、非破壞性測量，在現(xiàn)場環(huán)境中操作。
◆樣件大小(高x寬x長)：254 x 203 x 203 mm（帶2軸調(diào)整架）
◆樣件分量：≤22.7 Kg（帶2軸調(diào)整架）
◆反射率：0.1%-
性能參數(shù)：
◆3平板測量重復(fù)性：λ/300(2σ)
◆RMS重復(fù)性：2λ/10,000(2σ)
◆數(shù)據(jù)采樣：640x480像素,8位，可選：1K x 1K像素
◆分辨率：>λ/8,000
◆條紋分辨率：180條紋
◆數(shù)據(jù)采樣時(shí)刻：低分辨率(7幅數(shù)據(jù)圖畫):93 ms，高分辨率(13幅數(shù)據(jù)圖畫):173 ms
環(huán)境要求：
◆溫度：15°C-30°C(60°F-95°F)
◆溫度變化率：<1.0°C/15min
◆濕度：相對(duì)濕度5%-95%,無凝結(jié)
◆防震：需要阻隔1-120Hz的轟動(dòng)
