自動化半導(dǎo)體清洗設(shè)備
自動化半導(dǎo)體清洗設(shè)備
全自動硅塊清洗機
設(shè)備用途:主要對破碎后的硅塊進行腐蝕清洗
適用對象:6-10mm原生多晶硅業(yè)及碎片,5-30KG/Batch 預(yù)估
控制模式:手動控制模式、全自動控制模式
半自動硅片腐蝕清洗機
設(shè)備用途:用來將4、5、6寸硅片化學(xué)腐蝕和清洗
控制模式:手動控制模式、自動控制模式
全自動RCA清洗機
適用產(chǎn)業(yè):半導(dǎo)體等
控制模式:手動控制模式、自動控制模式
適用對象 | 硅片 2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 藍寶石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 砷化鎵晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 其它襯底晶片 |
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