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牛津儀器
原理
搭配電子掃描顯微鏡做元素分布分析,定量分析。利用不同元素X射線光子特征能量不同這一特點來進行成分分析的。EDS是掃描電鏡上配搭的一個用于微區分析成分的配件——能譜儀,是用來對材料微區成分元素種類與含量分析,配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。
應用
元素定性及定量分析。
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