KLA公司全系列的力學測試產(chǎn)品均采用電磁驅(qū)動原理的加載力激發(fā)器, iNano高精度臺式納米壓痕儀。對納米壓痕物理模型和線性特性的電磁力驅(qū)動原理的深刻理解,以及高靈敏度的三片式電容傳感器的設(shè)計,保證全系列納米力學產(chǎn)品在整個量程范圍內(nèi)均能得到高精準、高分辨的控制。50mN載荷范圍,3nN加載精度,0.002nm位移精度。
? 快速精準的動態(tài)納米壓痕測試
? 電磁加載方式
? 快速精準的位移測量
? 超高框架剛度
? 熱漂移 <0.05nm/s