此款小型快速退火爐是集成儀最巧妙的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和的加熱方式與一體,使得體積和功率都大幅減小的同時(shí),升降溫速率卻比傳統(tǒng)退火爐提升了數(shù)倍之多。它既可以通氣氛又可以抽真空,滿足了很多用戶對(duì)小樣品快速退火的工藝要求。
應(yīng)用范圍:
? 快速熱退火 (RTA); 離子注入后退火
? 石墨烯等氣象沉積,碳納米管等外延生長(zhǎng)
? 快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);
? 硅化 (Silicidation);
? 擴(kuò)散 (Diffusion);
? 離子注入后退火 (Implant Annealing);
? 電極合金化 (Contact Alloying);
? 晶向化和堅(jiān)化 (Crystallization and Densification);
主要特點(diǎn):
? 極速升溫20℃/S,極速降溫20℃/S;
? 控溫穩(wěn)定,恒溫精度≤1℃
? 體積小巧,使用功率只有1kw;
? 超高光線反射效率,無(wú)需爐膛保溫;
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | mini快速退火爐 |
產(chǎn)品型號(hào) | RTP1000S |
極限溫度 | 1000℃ |
額定溫度 | 1000℃ |
控溫精度 | ±1℃ |
升溫速率 | 20℃/S(900-1000℃升溫3-5℃/S) |
降溫速率 | 隨爐冷卻75℃/min 物料臺(tái)拉出降溫800℃/min |
控制方式 | 智能PID |
加熱方式 | 短波紅外線加熱 |
加熱腔體結(jié)構(gòu) | 石英管 |
樣品冷卻 | 自然冷卻或通入冷卻氣體 |
冷卻氣體調(diào)節(jié) | 浮子流量計(jì)(100~1000ml/min)(選配) |
超溫保護(hù) | 溫度出現(xiàn)過(guò)高時(shí)切斷主回路 |
恒溫區(qū)尺寸 | 35mm |
載料體尺寸 | 30*25mm |
傳感器類型 | K型 |
真空系統(tǒng) | 1L/S 雙級(jí)聯(lián)真空系統(tǒng) CHY-4C(選配) |
整機(jī)真空度 | 3Pa(選配CHY-4C真空泵) |
抽氣端口尺寸 | KF16 |
供氣口尺寸 | 1/4英寸雙卡套 |
額定功率 | 1.5kw |
額定電壓 | AC220V,50Hz |
重量 | 15kg |
配件 | 坩堝鉗1把,說(shuō)明書1本。 |
外形尺寸 | 610x400x410(長(zhǎng)*寬*高) |