Excel 661HM/HC Micro-Vu三坐標影像測量儀簡介
使用嶄新的技術，提供高速度與精確度，建立出可靠以及可信賴的測量系統。
該系統包括InSpec測量軟體，可程式化的光學變焦，3X的數碼變焦，非線性平臺補償，非線性光學補償，*的LED光源系統以及溫度檢測儀。
InSpec測量軟體功能強大：使用滑鼠就能輕松編寫程式，專有的系統尋邊功能，*的光源控制及校正功能，與復合感測器結合，自動校正，可清晰顯示測量資料及公差。
Excel 661HM/HC Micro-Vu三坐標影像測量儀技術參數
| Excel 661HM/HC | Excel 662HM/HC | Excel 661 UM/UC | Excel 662UM/UC | Excel 664 UM/UC | |
| 量測行程(mm) | 650x680x160 | 650x680x250 | 650x680x160 | 650x680x250 | 650x680x400 |
| 承載重量 | 100kg | ||||
| XY軸精度(μm) | 2.8+L/200 | 3.1+L/200 | 2.5+L/200 | 2.8+L/200 | 3.5+L/150 |
| Z軸精度(μm) | 2.8+L/100 | 3.3+L/100 | 2.5+L/100 | 3.0+L/100 | 3.8+L/100 |
| 解析度 | 0.4μm | 0.1μm | |||
| 基本倍率 | 1X(LWD)/2X(SWD) | ||||
| 光學變焦 | 6.5x | 12x | |||
| 數位變焦 | 3x | ||||
| 綜合倍率 | 20x-370x/40x-740x | 15x-540x/30x-1080x | |||
儀器配件
接觸式探針系統
1. 量測高度：利用量測頭可以量測高度的特性來量測工件表面的高度差；
2. 量測球體、柱體：利用量測頭的多方向點接觸可量測到影像量測儀量不到的位置；
3. 量測平面度：利用量測頭可以量測高度和速度快的特性來快速量測工件表面的平面度。
接觸式探針系統可以選購添加在Micro-Vu影像系統中，以構建復合傳感器量測系統，輔助影像量測儀完成一些特殊尺寸的量測。利用探針接觸感應來量測工件側面，底面以及平面的尺寸。
Micro-Vu 接觸式探針組包含了用來構成垂直式和多測針式（星型）二種探針配置的組件。
垂直探針使用一支3mm（球徑）x20mm（長度）測針搭配20mm（長度）延長桿和一個探針側頭。
多測針式探針使用四支3mm（球徑）x20mm（長度）測針安裝在一個五向測針座上，五向測針座中心再組合一支30mm（長度）延長桿，然后再結合到探針側頭。
