本工藝有3至9個微波激發單位，根據被處理風量的不同數量不同，微波由于它的頻率相對比較高，在納秒的時間內有 效作用于被處理空間(區域)，由于微波的功率相對較小，因此在激發能力上也就是說電子的獲能躍遷能力上有限，本設計只是把微波作為初頻激發源，在處理過程中作為一種預激發能。由于微波的預激功能，大的提高等離子體區，板區的激發能力和處理效果，由于微波技術的運用，本工藝在同類設備的比較中顯得設備精煉而效果*。
        低溫等離子體激發
        本工藝有40支至240支充有氣體的無管組成的低溫等離子體激發區，低溫等離子體區是工藝的核心技術，諸多機構室稱在常壓下實現低溫等離子體。從大量的試驗分析，常壓低溫等離子體要在工業中應用存在的困難仍舊很大，本工藝借助低氣壓的無燈作為低溫等離子體的激發體大限 度地在無管區實現低溫等離子體區，由于低溫等離子體在能 量躍遷過程中具有強的能 量平衡性，在粒子撞擊中失能少，所以低溫等離子體作為原子激發是理想的一種能。在實踐應用中，大的科題在于低氣壓究竟是多少帕?管內充什么樣的氣體有經濟價值?這沒有理論模型可言，只有通過實踐、實驗、分析。
        等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下:
        (1) 電場+電子→電子
        (2) 電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基 團
        (3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱
        (4) 活性基團+活性基團→生成物+熱
        從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團;之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。