等離子凈化器工作原理是：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子 物質，或使物質轉變成 或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得。
低溫等離子體去除污染物的機理：
等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場＋電子→ 電子
(2) 電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團
(3) 活性基團＋分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團＋活性基團→生成物+熱
等離子廢氣凈化器主要特點是：
1、適用范圍廣
化工、輕工、印染、醫藥、機械、電子、儀表、鋼鐵等行業生產過程中排放的鹽酸、硝酸、硫酸、氫氟酸等尾氣以及硫氧化物、氮氧化物、等，采用本設備，都可達到滿意的凈化處理效果。
2、凈化
LXS系列、WXS系列廢氣凈化塔采用2級逆向噴淋、2級填料吸收處理工藝，由實驗研究確定的氣液比、根據廢氣主要成分配制的吸收液組分，了吸收反應的穩定運行，對各類酸性廢氣的凈化效率均可達到85~95%.
3、設備阻力低
選用空氣動力特性好、比表面積較大的填料品種和結構型式，設備阻力在額定風量下不超過500Pa.這對于配用低壓塑料通風機或玻璃鋼通風機極為有利。
4、無霧沫夾帶
采用 除霧設計，克服了傳統噴淋塔常見的霧沫夾帶現象，不利于環境保護，不進一步降低了吸收液補給量。
5、占地面積小
本設備將塔體、吸收液槽、循環泵、吸收液管道系統組合成一套完整的設備，結構緊湊，便于現場安裝及操作管理，占地面積較小，無論安裝在地面或屋頂板上都具有明顯優勢。
