項目 | 說明 | ||
清洗能力（采購方提供cassette樣品） | 4inch 4 cassette / Batch 25 Pcs/cassette；6inch 2 cassette / Batch 25 Pcs/cassette； | ||
設備形式（潔凈度：千級潔凈室） | 室內放置型 ； | ||
機臺封面、主要結構材質 | SUS304單鏡面板材； | ||
機臺視窗 | 材質 | 透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC ； | |
模式 | 單開式 ； | ||
機臺主機強度結構 | 整體SUS304不銹鋼結構骨架； | ||
防漏盤 | 材質 | 聚丙烯磁白PP板材； | |
模式 | 分體式 每側尺寸比設備本體長50mm； | ||
漏液檢測裝置 | 材質 | 防腐材質； | |
點式 | 單點式； | ||
其它 | 水平調整 | 通過地腳調整設備水平； | |
設備移動 | 設備裝有樹脂腳輪以備設備移動之用； | ||
臺面板 | 材質 | ￠12mm左右洞洞結構 SUS304單鏡面板材； | |
模式 | 可拆式 ； | ||
排風系統 | 排風口位置 | 設備后頂部 ； | |
排風通道結構 | 1.排風強勁合理設計，為了排風效果達到，排風通道內設有風量導流板； 2.為了方便操作人員根據情況及時調節排風量，操作人員可小范圍調節機臺排風背板上的可拆卸式(以便清除可能產生的結晶)排風柵欄再配合機臺視窗上的可調進氣模塊使用達到使用效果； 3.設備排風通道的底部帶排液管，冷凝回流的廢液通過管道排放至機臺U型濕區內與QDR排出的廢水混合稀釋并排放至機臺后方廠務廢水專用管道內； | ||
機臺的電控系統 | 安裝在機體的后部; 觸摸屏及電源控制開關、照明等安裝在設備正前方。各槽體的工藝過程均由PLC、觸摸屏、溫控器、傳感器等組成。設備具有上電手動操作復位功能。每個機臺可存儲X套工藝配方，操作者可通過觸摸屏調用預先編制好的工藝配方。軟件系統具有工藝配方參數設定、手動維護、自動運行、狀態監控等畫面。軟件具有報警信息、歷史記錄、維護信息等系統記錄。軟件系統具有3級加密進入權限設置：分別為設備作業員、設備工程師、工藝工程師，不可混用權限； | ||
工藝記錄儲存類型 | 工業條碼槍+PLC+工控機 | 使用程序時刷條碼確認程序,完成生產工藝中參數及工藝步驟等詳細記錄存儲,便于采購方對生產產品品質管控; 程序運行記錄可定時存儲，存儲數據類型參考如下：程序號、操作者、槽體溫度、設定時間、運行時間、報警信息等（待定）。全部為PC操控、各種log、alarm信息記錄、自動帶當功能、聯網上拋功能、操作記錄，不能刪除記錄。 | |
