低溫等離子是繼固態、液態、氣態之后的物質的第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。
低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應已達到分解污染物的目的。低溫等離子體是相對于高溫等離子體而言，屬于常溫運行。
低溫等離子廢氣凈化器是工業廢氣處理成套設備和技術作為一種新型的氣態污染物的治理技術是一個集物理學、化學、生物學和環境科學于一體的交叉綜合性電子化學技術，由于能很容易使污染物分子高效分解且處理能耗低等特點，是目前國內外大氣污染治理理想中最富有前景、最行之有效的技術方法之一，其使用和推廣前景廣闊，為工業領域VOC類有機廢氣及惡臭氣體的治理開辟了一條新的思路。
應用范圍
低溫等離子廢氣凈化器適用范圍廣泛，可用于石油化工、制藥行業、飼料和肥料加工廠，畜牧產品農場、化纖廠、皮革廠、紙漿廠、污水泵站、各類污水處理廠、涂料、視頻添加劑廠、皮革加工、感光材料、汽車制造以及公廁、糞便轉運站等諸多行業存在的有機廢氣，異味，惡臭等污染問題。即可應用于工業廢氣的治理，也可應用于室內空氣凈化等，是一種用途極為廣泛的新型空氣環境潔凈設備。
