特點

●利用1臺濃度計可以監測4種(藥液或量程)的多樣監測。

●實時濃度監測。測量單元型產品適用于更高精度需求應用的濃度反饋控制。

●監測周期大約3秒，300mm工藝的濃度管理。

●通過*分離電氣部分和測量部分以提高穩定性。

●輕便小巧的設計有利于節省清洗裝置的空間。

●通過減少清洗工藝中的批次不良以提高產量。

主要特點

●利用1臺濃度計可以監測4種(藥液或量程)的多樣監測。
1臺濃度計中最多可存儲4種校正系數(藥液或量程)，可監測單槽或單晶圓等批次清洗方式的清洗裝置1種以上藥液(或者不同的藥液配比)濃度。

●實時濃度監測。測量單元型產品適用于更高精度需求應用的濃度反饋控制。 通過使用可直接組裝在清洗裝置主配管中的在線檢測單元，實現了實時的濃度監測。為了強調穩定性，也可使用檢測單元裝置型的濃度計，以進行反饋控制。可以保持在藥液濃度值的允許范圍內，同時也可以避免不必要的藥液更換工作。

●監測周期大約3秒，300mm工藝的濃度管理。
以大約3秒這樣短的測量周期實現了高速響應性。支持多槽、單槽?單晶圓方式清洗裝置的精確濃度管理。

●通過*分離電氣部分和測量部分以提高穩定性。
使用光纖傳輸光源信號確保了了濃度計和檢測單元的*分離。由于可以把濃度計設置在藥液氣體以外，所以不需要擔心腐蝕等現象。

●輕便小巧的設計有利于節省清洗裝置的空間。
由于底面面積只有本公司原來產品的2/3左右，這種小巧化設計有利于清洗裝置節省空間。可以很容易地組裝到清洗裝置中。除此以外，由于重量較輕，所以也可以設置在清洗裝置的上面。

●通過減少清洗工藝中的批次不良以提高產量。
通過使用監測輸出，進行各成分藥液的補給控制，從而實現了高再現性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而有利于提高提高產量。