如何進入無塵潔凈室?
1、 任何進入無塵潔凈室的人,必須*入無塵更衣室,穿上無塵帽、無塵口罩、無塵衣、靜電防塵手套、無塵褲、無塵靴(如圖①所示)。經過這套外形很“酷”的防塵裝備可將人們身上已有的灰塵隔離在無塵潔凈室之外,但這才是*步。
2、 接著就要進入風淋室。所謂風淋室是指一條“吹風的長廊”,不過在這條長廊中吹出來的強風是沒有任何靜電存在的離子風。這種離子風所具有的中和能力可以將人身上的正負電荷中和,而且依靠靜電黏附在毛發、衣服上的灰塵也會自動脫落并粘在地板上的藍色洗塵墊上(如圖②所示)。
3、 走過風淋室后,就進入無塵潔凈室了。如果無塵潔凈室生產的產品要防靜電,則還要經過“靜電橋”*地消除身上的靜電。若進入百級潔凈室還重復2、3步驟動作。
什么是無塵概念?
按照慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非*沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
如表1所示,每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。
表1
A級B級C級
粒徑≤0.5≤0.5≤0.5
個數≤3500≤10000≤18000
潔凈室的動線規劃
所謂[動線],是指人員、原料之入室路線,與人員與成品的出室路線。規劃時,要檢討分析人(車)路徑、配管系統、排氣管道、原料搬運和作業之流程等,盡量縮短動線,并避免交叉,以防止交叉污染(Cross Contamination)。