低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。
二、等離子廢氣處理設備工作原理
等離子處理設備又稱低溫等離子廢氣凈化器。
本工藝在電催化總的設計概念下，分兩個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區。
低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。
等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場+電子→高能電子
(2) 高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基 團
(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱
從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
過程一：高能電子的直接轟擊
過程二：O原子或臭氧的氧化 O2+e→2O-
過程三：OH自由基的氧化 H2O+e→OH+H H2O+O→2OH H+O2→OH+O
過程四：分子碎片+氧氣的反應
四、低溫等離子廢氣處理設備技術優勢:
1.介質阻擋放電產生電子能量高，低溫等離子體密度大，可達到常用等離子技術（電暈放電）的1500倍，幾乎可以擊碎所有有機廢氣的分子鏈。
2.技術反應速度快，氣體通過反應區的流速達到3-15米/秒，也可達到很好的處理效果。
3.自動化程度高，設備啟動、停止十分迅速、隨用隨開，對于部分不連續產生廢氣的收集點，可以循環啟停節約成本。
五、低溫等離子廢氣處理設備產品特點：
1.凈化效率高，性能穩定。
2.設備風阻低≤300Pa,無需加人抽風設備，投資低
3.運行成本低，耗電小。
4.維護保養簡便，費用低，每使用90天為保養清洗期。
5.可靠，設備采用敞開式排放形式，不設封閉高壓，高溫區。
6.無需活性炭材料，不存在飽和脫附再生原料，無二次污染。
7.使用壽命長，安裝簡便，操作過程實行全自動化。
8.處理風量5000-50000m3/h以上（可根據客戶實際要求尺寸訂做)
六、低溫等離子廢氣處理設備適用范圍：
主要運用于化工業、造紙業、制藥業、食品業、輪胎及橡膠生產廠、汽車生產、油漆噴涂、污水處理、污泥廢氣處理、垃圾處理廢氣、皮革業、印刷廠、香料生產業、飼料及飼養場、農藥生產以及煙草業等等多個領域的異味和惡臭處理，涉及氣體物質多達900多種，主要包括：硫化氫、氨氮類、硫醇類、硫醚類、吲哚類、苯類、硝基類、烴類以及醛類等類別。
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