PE-100是一款完整的等離子清洗系統或是反應離子蝕刻系統, 帶真空泵. 設計牢固和性能穩定, 高性價比，讓那些初創工廠，醫療實驗室，研發機構，能夠使用PLASMA ETCH的產品和技術

PE-100提供三種功能配置：

1. 常規的等離子清洗和等離子蝕刻

2. 反應離子蝕刻（RIE）

3. PE-100可轉換配置，一個系統包含各向異性和各向同性等離子體處理, 可移除托盤配置。

簡介

PE-100焊接鋁真空反應腔包含一個寬松的240平方英寸的有效等離子處理面積， 標準配置三層電極。采用工業粉末固化工藝，PE-100本體潔凈的設計，能在運行過程中減少污染物產生。

當使用PE-100作為反應離子蝕刻應用，電極會特別設計為直驅型等離子，意味著等離子接觸處理物表面，產生的等離子體向下流動或是鉆進的效果。這個過程主要用在那些微孔或是清洗非常小的空間，這些工件通常不能夠通過化學清洗方法，因為液體流動會在小空間里面受到限制，比如過孔。

典型的客戶包括：*生產制造工程，研究和開發實驗室，測試工廠以及大學。工業客戶包括生物醫藥，牙科，電子，光電子，科研，塑料，光學，太陽能電池電池板等。.

使用我們的等離子清洗機刻蝕，比較化學浸泡方法，可以避免昂貴的有害化學廢水處理。等離子處理非常容易使用，通過導引型觸摸屏操作控制等離子過程的各個參數，來確保高重復性。

我們可以客戶化配置反應腔和電極，來滿足您的產品或是過程需要，包括客戶化尺寸水平電極，RIE(反應離子蝕刻) 和半導體引線邊框的布局。

標準特性

焊接鋁真空反應腔
3層水平處理電極 9” 寬 x 13” 深 3” 間隔距離

300 瓦射頻發生器 @ 100KHZ

一個0-50sccm質量流量控制器

皮拉尼真空計0-1托

微處理器控制系統，帶觸摸屏界面, 存儲一組過程參數

8CFM帶氧氣供應真空泵

真空泵油水分離器

可選項目特性
300 W射頻發生器 @ 13.56 MHZ

靜電防護

過程溫度控制

氮氣輸入系統，用于延長真空泵壽命

RIE(反應離子蝕刻)配置

客戶化電極尺寸和配置

電氣和尺寸：

系統重量：等離子反應器 160lbs，真空泵68lbs

系統尺寸：等離子反應器 17“ X 28” X 30”， 真空泵6 “ X 18” X 9”

廠務條件：

電壓：220伏交流， 50HZ, 13A, 單相

壓縮氣體供應80-100psig <0.5 CFM

可調過程氣體15-30PSIG