簡介Overview

PE50 是一款高性價比的等離子清洗機，提供其他競爭產品不具備的非常多的特性。 這臺等離子清洗機適合小批量生產，研究和開發實驗室，測試生產或是大學。系統提供防爆型矩形焊接鋁合金真空腔（大小：6” 寬x 7” 深 x 4”高）， 并有一個直接驅動型射頻電極。

等離子清洗應用包括：科研，太陽能電池，印刷電路板，連接器，MEMs，納米材料，晶元產品包裝，接觸透鏡，和很多半導體制作工程。

特性：

所有PLASMA ETCH等離子清洗采用電容平行板設計，是等離子產生方式。

很多競爭對手采用玻璃/石英筒形腔體設計不能穿透真空密封容器，從而被限制為使用射頻線圈繞在腔體外圍的射頻耦合。這是一種非常沒有效率的方式，結果是功率損失，嚴重的低刻蝕/清洗移除效率。

等離子清洗設備的用途和靈活性，可以用與處理多種表面，并精確控制。比較濕法清洗和蝕刻工藝，等離子清洗沒有危險物質和廢水產生，如果有效的表面處理對產品重復性或是過程效率非常關鍵，等離子工藝可能是很好的選擇。

PE50等離子清洗機包含部件，全部在美國生產，Plasma Etch*。

PE50等離子清洗機用于移除有機或是無機污染物，改善浸潤性，提升粘接強度，并去除殘留物，這在非常多的產品和制作過程中都是有效的處理方式。

標準配置規格

焊接鋁真空反應腔6” X 7” X 4”

單個 4.5” x 6” 水平電極

150 Watts @ 50 kHz 射頻發生器，可以提供400W電源選項

精確針閥流量控制0-25cc/min

皮拉尼真空計0-1乇

5CFM氧氣提供真空泵

存儲1組過程參數

可選項目特性

150W @ 13.56MHz 射頻發生器和自動匹配電路.

燈條

質量流量計

電氣和尺寸

交流電120VAC 60 Hz @ 15 A or 220 VAC 50 Hz @ 14A

反應器運輸重量55lbs

真空本運輸重量 35lbs

反應器外形尺寸 14 “ X 14.5” X 18”

真空泵外形尺寸 7” x 16”

可選Venus升級選項

l 適用電腦/筆記本的控制程序

使用含有PLASMA ETCH軟件的臺式機/筆記本，用于自動控制系統運行，編輯工作序列，多個狀態存儲以及更*的功能。

l 質量流量控制器

帶一個質量流量控制器。可以配置更多的質量流量控制器。