隨著綠色能源太陽能的大規模開發利用，光伏電池原料多晶硅的用途越來越廣泛，隨著我國多晶硅總產量的逐年增多，多晶硅生產的副產物四氯化硅的安全和環保問題日益突出，如何安全處理四氯化硅已成為關系到多晶硅產業能否健康發展的關鍵問題。

我公司研究開發的新一代廢氣四氯化硅凈化設備，四氯化硅是多晶硅生產中產生量較大的副產物，未經處理回收的四氯化硅是一種具有強腐蝕性的有毒有害液體，對安全和環境危害很大。我公司科技人員廢氣處理專題組經過多年的刻苦攻關，成功地將多晶硅生產線的副產物三氯氫硅、二氯二氫硅和四氯化硅，采用濕法回收成沉淀型二氧化硅和鹽酸，既解決了環保問題，又將廢物回收進行了再利用。

1、處理條件

主要成份為四氯化硅、三氯氫硅和二氯二氫硅。

2、處理結果

回收二氧化硅和鹽酸，排放廢氣達到GB16297-1996排放標準。

3、本回收處理系統突出優勢

我公司生產的本設備所轉產的二氧化硅經國家有關檢測部門檢測，SiO2純度達到99.65%。本項技術已獲得國內獨立知識產權保護，證號；ZL.4。

工藝組成

由蒸發分離工段、水解工段、吸收工段、壓濾工段、干燥工段組成。

工作原理

（1）蒸發分離工段

液態的四氯化硅經加壓泵從儲罐泵入蒸發釜，釜下設蒸發器和再沸器，釜上為分離塔。蒸發器和再沸器外設夾套內設盤管，蒸汽在夾套和盤管內加熱，四氯化硅在釜內氣化。氣態的四氯化硅通過再沸器的出口排出，經管道進入水解塔。

（2）水解工段

四氯化硅氣體進入水解塔內與來自壓濾系統的濾液進行反應。液相經霧化器霧化向下噴淋，與進入噴淋塔內的氣態四氯化硅發生水解反應，生成硅酸、鹽酸以及未*吸收的氣體。硅酸與的固液混合物流到水解塔底部進入料漿池，經管道分批送至壓濾系統；大量氣體及少量硅酸去分離釜，使氣體能夠形成穩定的氣流，去降膜吸收系統。

（3）吸收工段

自分離釜來的氣體進入降膜吸收系統及填料吸收系統，吸收為不同濃度的鹽酸。

（4）壓濾工段

四氯化硅水解反應生成的二氧化硅和固液混合物經攪拌洗滌后進入壓濾機中進行壓濾，末了濾餅送干燥系統。

（6）干燥工段

在干燥工段將含有大量水蒸氣及少量物料顆粒的濾餅進入干燥系統的旋風分離器和布袋除塵器。經過旋風分離器，固體物料進入儲料池中，熱空氣向上運動再通過脈沖袋式除塵器回收小部分物料后達標排放。

選型說明

本系統需根據用戶提供的四氯化硅成分、介質濃度、處理指標要求等進行設計，由我公司設計人員進行選型。

使用領域

本項成套設備用于多晶硅、單晶硅、太陽能發電、三氯氫硅合成等行業，處理四氯化硅、三氯氫硅和二氯二氫硅并回收再利用。