工藝流程如圖所示，工藝廢氣首先經過三通閥，當出現緊急情況時時，廢氣通過緊急排空管道。正常運行時，先關閉進氣閥，打開預熱閥門進行RTO蓄熱床預熱，當陶瓷預熱至設定溫度時，關閉預熱閥門，打開廢氣閥，廢氣首先經過過濾器，對廢氣中粉塵等進行過濾，以減輕后續陶瓷蓄熱體的堵塞，減少陶瓷更換的頻率。在RTO前設置阻火器，防止發生回火。廢氣進入蓄熱床后被預熱至800℃左右，進入燃燒室，在燃燒室內停留1.2s~1.5s，以保證廢氣中的有機物*分解燃燒為CO2和水。燃燒后的高溫煙氣一部分通過蓄熱陶瓷提供廢氣預熱的熱量，另一部分富余熱量通過高溫排空閥進入余熱導熱油爐和熱水換熱器，回收利用富余熱量。
廢氣蓄熱氧化及余熱利用流程圖
HTR-40III型RTO設備在工作時，經過以下兩個過程。
(1)冷啟動預熱狀態
新鮮空氣直接進入RTO主體進行預熱，間隔一定時間T后，進出氣閥門自動切換，氣體在五床間變更流動方向。此過程操作排空可能滯留在RTO設備內部的殘留有機廢氣，以免在點火時發生危險。
5-10分鐘后，通過PLC控制開啟燃燒系統，燃燒器系統開始自動點火，蓄熱陶瓷填充床的溫度逐漸升高，約3小時左右后，陶瓷床頂部達到約800℃，中部達到約400℃，底部約100℃。此時，預熱過程結束。
（2）正常運行狀態
預熱過程結束后，RTO進入運行狀態，有機廢氣經過陶瓷蓄熱床A，被逐漸預熱到其自燃溫度，在燃燒室內發生氧化反應，生成CO2和H2O，再進入陶瓷蓄熱床B放熱，將熱量積蓄在陶瓷蓄熱床B，此時C床進行吹掃，蓄熱床溫度自上而下逐漸降低，A、B、C三床之間按照周期T進行切換，處理后的煙氣進入排放煙囪。不同床層的工作周期表如下表所示。
RTO產生的余熱，后續可以采用導熱油、蒸汽、熱水爐、熱風爐等多種形式換熱使用，限度的熱量利用，更穩定的熱量輸出，目前廣泛應用在涂布、印刷等行業。
