FT110鍍層測厚儀與以往的鍍層厚度儀相同,適用于各種應(yīng)用程序,同時通過增加新功能以提高可操作性和測量性能,從而大幅縮短從準(zhǔn)備樣品到完成所有處理的時間。提供符合客戶需求的多種選配功能,可根據(jù)需要選擇適合的儀器配置。
采用新功能,以提高可操作性
實現(xiàn)以往鍍層厚度測量儀未能實現(xiàn)的測量位置功能,并大幅縮減條件設(shè)置等繁瑣步驟。
可從整個樣品(250mm*200mm)的廣域圖像中,一鍵測量位置??赏ㄟ^與以前的狹域圖像進(jìn)行聯(lián)動,以精確位置。多點(diǎn)測量的定位性能得到大幅提升。
對于存在階梯或高度差的樣品,可在3秒內(nèi)自動調(diào)節(jié)攝像頭的焦點(diǎn)(自動對焦),自動將光源移動至位置(自動接近)。(適用于80mm以內(nèi)的階梯或高度差)
對存在階梯或高度差的樣品采用自動對焦系統(tǒng)和新FP法,可以在不處理樣品、不更改條件設(shè)置的情況下進(jìn)行測量。(適用于80mm以內(nèi)的階梯或高度差。