熱式氣體質量流量計是利用熱傳導原理測量流量的儀表。采用恒溫差法對氣體質量流量進行準確測量，具有體積小、數字化程度高、安裝方便、測量準確等優點。傳感器部分由兩個基準級鉑電阻傳感器組成。采用橋式環路，一個傳感器測量流量溫度，另一個傳感器維持高于流體溫度的恒溫差，可以在高溫和高壓條件下進行流量測量。

     熱式氣體質量流量計具有如下技術優勢：真正的質量流量計，對氣體流量測量無需溫度和壓力補償，測量方便、準確。可得到氣體的質量流量或標準體積流量； 寬量程比，可測量流速高至140Nm/s低至0.05Mm/s的氣體，可以用于氣體撿漏；抗震性能良好，使用壽命長，傳感器無活動部件和壓力傳感器部件，不受震動對測量精度的影響。