光氧催化廢氣凈化設備一般稱為UV光催化氧化廢氣凈化裝置，廢氣進入到此設備，在UV紫外線光束的照射下產生裂解，將廢氣中含有的氨、苯等voc的分子鍵打斷，使其成為污染物小分子或打斷成分子鏈。同時UV紫外線分解空氣中的氧分子產生游離氧，因游離氧正負電子不平衡所以需與氧分子結合，產生臭氧，此時，游離狀態的污染物小分子與臭氧氧化結合成或低害的化合物，如二氧化碳和水。但是，一些氧化性相對較差的污染物分子不會立即與臭氧發生反應，在廢氣通過此設備的過程中，此類污染物分子在設備內置催化板的催化作用下，才能夠發生上述反應。
光氧催化廢氣凈化設備廢氣經處理后排放，改進了車間的環境，保護了員工的身體，讓他們在一個清潔的環境下工作。
光氧催化廢氣凈化設備利用的光束照射惡臭氣體，改變惡臭氣體如：氨、胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。
光氧催化廢氣凈化設備是利用風機的動力進行廢氣的集中處理的，不過這種設備是利用波段的光線進行廢氣凈化的，因此要安裝在光線足、通風好的地方，這樣對于提高設備的處理能力是有幫助的。C波光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。
光氧催化廢氣凈化設備適用范圍
煉油廠、橡膠廠、化工廠、制藥廠、污水處理廠、食品加工廠、肉類加工廠、屠宰廠、家禽飼養場、家禽養殖廠、造紙廠、垃圾站、糞便處理、印刷廠等。
