產品規格
型號 | JL-IVM-010 | JL-IVM-011 |
外形尺寸MM | 1600(L)*1000(W)*1700(H)MM | 1600(L)*800(W)*1400(H)MM |
腔尺寸 MM | 300(L)*500(W)*50(H) | 300(L)*120(W)*50(H) |
軌道數量 | 雙軌八道 | 單軌一道 |
清洗效率 | 600片每小時 | 120片每小時 |
等離子發生器 | 13.56MHz,0~600W可調。 | 13.56MHz,0~300W可調。 |
真空度 | 0.01~0.8Torr | 0.01~0.8Torr |
氣體通道 | 2路,(O2/Ar/H2/CF4可選) | 2路,(O2/Ar/H2/CF4可選) |
產品尺寸(MM) | 長140~280,寬30~80,可定制 | 長140~280,寬30~80,尺寸可定制 |
冷卻方式 | 風冷 | 風冷 |
真空泵 | 無油泵 | 無油泵 |
針對產品 | 集成電路/LED封裝 | 集成電路/LED封裝 |
功能應用
? LED,Wafer引線框架清洗活化
? Silicon Wafer晶圓表面活化...
? 粘片前進行處理,提高芯片附著力;
? 鍵合前進行處理,提高鍵合強度;
? 塑模和封裝前進行處理,減少封裝分層;
? 硅晶片的表面有機物的清洗.
產品優勢
? 針對LED,IC封裝工序設計。
? 配備自動上片,傳輸,清洗,收片等功能。
? 高度自動化作業,減少人員干預,降低二次污染風險。
? 模塊化設計,組件更換靈活,切換產品快速。
? 采用13.56MHZ電源,清洗時間短,無濺射,溫度低。
? 運行過程實時監控,動畫指示工作過程,一目了然。
? 設備操作權限分級管理,生產過程可管控。
? 故障報警可追索,有提示,快速排查故障部位,便于維護。