低溫等離子凈化設備又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

電催化氧化工藝集低溫等離子體、微波放電、極板放電與一體，在實際使用中實現廢氣的處理是極為復雜的過程，整個過程在不到1秒的時間內完成。從理論到模型都能探究到相關的機理，通過三種方式的集中放電，廢氣分子從低能的E,在千分之一秒的時間內躍遷到足以使其電離的Em級，廢氣分子鍵充分斷裂，在雪崩式的撞擊中斷裂后的粒子由于質量小，被進一步躍遷，與反應堆內的氧離子氫氧根離子發生反應，生成無味的CO2、H2O以及其它高價化合物。同時由于反應堆內臭氧以及紫外線的作用，去除不同范疇的廢氣化合物，實地較為廣譜的去除空間。

低溫等離子凈化設備優點：占地面積小；反應，等離子廢氣凈化器處理效果好，等離子廢氣凈化器可將惡臭物質分解；啟動、停止，即開即用，不受氣溫影響，操作簡單；反應過程中只需用電，不用投加其他輔助藥劑和填料。

低溫等離子凈化設備處理技術是一個集物理學、化學、生物學和環境于一體的交叉綜合性技術，該技術顯著特點是對污染物兼具物理效應、化學效應和生物效應，且有能耗低、無二次污染等明顯優點。其凈化作用機理包含兩個方面：

一是在產生等離子體的過程中，高頻放電所產生的瞬間足夠打開一些氣體分子的化學能，使之分解為單質原子或分子；

二是等離子體中包含大量的電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結合，在電場作用下，使臭氣分子處于激發態。當臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，臭氣分子的化學鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得氣體分子。與氣體分子發生化學反應，終生成產物。

低溫等離子體中能量的傳遞大致為：電子從電場中能量，通過碰撞將能量轉化為分子的內能和動能，獲得能量的分子被激發，與此同時，部分分子被電離，這些活化了的粒子相互碰撞從而引起一系列復雜的物理化學反應。因等離子體內富含的大量活性粒子如離子、電子、激發態的原子和分子及自由基等，從而為等離子體技術通過化學反應處理異味物質提供了條件。它是基于放電物理、放電化學、反應工程學的學科之上的交叉學科。近幾十年來，有關等離子體技術的研究非常活躍，為合成新物質、新材料及環境污染治理等提供了一種、新方法和新工藝。低溫等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。